透射电子显微镜 研究生实验培训2011 10.pptVIP

TEM成像原理 阿贝成像原理的两步过程 Airy斑与分辨率 Airy斑与分辨率 电子波波长与TEM理论分辨极限 电子波波长与TEM理论分辨极限 电磁透镜的像差与分辨本领 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 分辨本领 电磁透镜的分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 静电透镜 将两个同轴圆筒带上不同电荷（处于不同电位），两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族，当电子在电场中运动，由于电场力的作用，电子会发生折射。散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜。 透射电子显微镜中的电子枪一般采用静电透镜形式。 电磁透镜 电磁透镜 电磁透镜的焦距 电磁透镜的放大倍数 中心暗场成像方法 汇聚束电子衍射成像（CBED） Ag/SiOx capsule structure and ? diffraction TEM 点分辨率 放大倍数测定 Specimen:Grating　1/1000、1/2000mm Magnification:5k Result： error 1.68% 实际长度为3um，测量为3.0503，所以放大误差为1.68% 透射电镜的主要部件---样品杆 样品台的作用是承载样品，并使样品能作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。 透射电镜的主要部件---样品杆 透射电镜的样品是放置在物镜的上下极靴之间，由于这里的空间很小，所以透射电镜的样品也很小，通常是直径3mm的薄片。 双倾样品台可绕独立的X、Y轴倾斜±30°。 Double tilt Be double-tilt Heating Heating double tilt Cooling Cooling double tilt 透射电镜的主要部件---消像散器 消像散器可以是机械式的，可以是电磁式的。机械式的是在电磁透镜的磁场周围放置几块位置可以调节的导磁体，用它们来吸引一部分磁场，把固有的椭圆形磁场校正成接近旋转对称的磁场。电磁式的是通过电磁极间的吸引和排斥来校正椭圆形磁场的 Thanks 用物镜的相位衬度传递函数PCTF（Phase Contract Transfer Function）可以表示为： 式中：R(g)是光阑函数；Es是空间衰减包络函数；Et是时间衰减包络函数，是入射电子束的汇聚圆锥半角。 在相位衬度高分辨像中，由于球差的影响，一个物点的像强度分布变成一个盘，其半径取决于球差系数和离焦值。对于给定的电子波波长及球差系数，适当地调整离焦值后，可以得到三种不同的衬度传递函数模式。当： 时，即所谓谢尔策（Scherzer）离焦值，弱相位体的相位衬度达到极大值，点分辨率 在最小相位衬度离焦值（minimum phase-contract defocous）下，即 时，相位衬度达极小值，同时，一直到 振幅衬度达极大值。 相位衬度像的种类： 原子像：像点与原子柱的投影对应，可以用原子分布进行解释； 结构像：像点与原子团或原子围成的通道对应，可以用结构进行直接解释； 点阵像：像点与晶面间距对应，与原子排列无关。 相位衬度 高分辨电子显微像利用的是相位衬度，即利用电子束相位的变化，由两束以上电子束相干成像。 在电子显微镜分辨率足够高的情况下，所用的电子束越多，图像的分辨率越高。 相位衬度的解释是相当复杂的，其原因是它对许多因素敏感，样品的厚度、取向或散射因子的微小变化以及物镜在聚焦和像差上的变化都会引起图像变化。然而，也正是由于这个原因，相位衬度可以用于薄样品的原子结构成像。 高分辨像成像时，往往在不同的离焦量下都能获得清晰的图像，但图像的细节随离焦量而变化。为了使图像尽可能地反映物质的结构，并不是在正焦状态下拍摄，而是需要一定的欠焦量。 获得高分辨原子像的三个条件： 弱相位近似体——足够薄的样品； 物镜处于最佳离焦值——谢尔策欠焦条件； 入射电子束与某一晶带轴平行——正轴。 10nm 1 2 3 4 5 6 Nano Particle HRTEM Catalyst Carbon nanotube 多次孪晶 半共格晶界及位错墙 二. 衍射操作 电子衍射操作的要点是将第一中间镜的物平面调节到与物镜（后场）的后焦面重合，而此后的其他透镜，仍然保持后一只的物平面与前一只的像平面重合。 在TEM实际操作中，首先在DIFF模式下，调节中间镜的焦距，将物镜光阑孔的边缘聚焦清楚，然后，调节汇聚镜焦