湿法刻蚀技术.PDF

微纳米加工 — 湿法刻蚀技术 微纳米加工 湿法刻蚀技术 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 学习目标 刻蚀的目的和分类 湿法刻蚀特点及应用范围 几种常用材料的湿法刻蚀及注意事项 湿法刻蚀与干法刻蚀的区别 2 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 主要参考书 1. 《半导体器件物理与工艺》， 【美】施敏著，赵鹤 鸣，钱敏，黄秋萍 译，苏州大学出版社 2. 《微纳米加工技术及其应用》 崔铮著， 高等教育出版 社 3 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 一. 刻蚀的目的和分类 微纳米加工技术是用来在各种功能材料上制作微纳米结 构，通过曝光可以得到各种光刻胶的微纳米图形，但光刻胶 本身不是功能材料，需要通过刻蚀将图形转移到下层功能材 料上。 刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方 法，有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分功能薄膜层除 去，从而在薄膜上得到和抗蚀剂膜上一致的图形。 4 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 刻蚀的主要目的： 紫外光 掩模版 衬底 衬底 衬底 涂光刻胶 曝光 显影 金属； 氧化物； 其它材料 1、旋涂光刻胶 2、曝光 3、显影 4 、干法或湿法刻蚀 衬底 衬底 5、浸泡腐蚀液中 去胶 刻蚀 刻蚀是一种非常有用的图形转移技术 5 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 — EVG — M.A.Schmidt 6 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 7 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 刻蚀用掩膜材料： 8 微纳米加工 —— 湿法刻蚀技术 分类： 化学刻蚀 刻蚀