纳米尺度加工技术概述.PDF

第 卷增刊 半 导 体 学 报 24 Vol. 24 Supplement 年 月 2003 5 HINESE JOURNAL OF SEMI ONDU TORS May 2003 ================================================================= 纳米尺度加工技术概述 王吉林 陈培毅 清华大学微电子学研究所 北京 ( 100084) 摘要 介绍了两大类纳米尺度加工技术