基于主成份分析的微机械薄膜变形镜波前复原技术.pdfVIP

应用激光 第 27 辛苦第 6 期 Vo l. 27 , No. 6 2007 年 12 月 APPLIED LASER December 2007 基于主成份分析的微机械薄膜变形镜波前复原技术何 最柱， 廖文和 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 2100 提要 为了解决微机械薄膜变形镜的由于黎体薄膜宽交i在值、单向形变所引起的 Zernike 模式像类校iE 能力较低的问题.采 用了一种J辈子变成份分析的波前模式分析方法，方法利用对微机械薄膜变形镜驱动电极影响踊数的相关分析，并对新向繁纫 进行了降维处理，得到的模式复原波前慕向最有助于减少测量噪声和计算误差的影响。方法对于基于微机械薄膜变形镜的 模式控制电庄的求解有辛苦重姿意义。 关键词 自适应光学; 微机械薄膜变形镜; 主成份分析; 模式复原 M叫al Reconstruction of Micromachined Membrane Defonnable Mirror Based on Principal Component Analysis 丁ong Gui , Liao Wenhe (College 01 Mech址nical . Electria l Engineeγin且、 Nanjin芷 UnÎversity 01 Aeγonautio aml Astronautics , Nαnjing ， ]iangsu 210016 ,China) Abstract Wavefront modal analysis basi d on principal component analysis was put award in order to solve the low ability to correct the wav巴front ， which is due to the great intercourse 且nd one-direction transforming of the whole membrane of microma- chined membrane deformable mirror ( MMDM). By analyzin日 the correlation of the influence function of control electrode of MMDM and reducing the dimensional number of new influence function vectors , the basic vector of modal reconstrU C tìon can reduce the Ìnfluence of the calibrating noìse and calculation error. It is significant to sol时 the controI voltages of modal recon struction based on the MMDM. Key words Optics; MMDM; principal component analysis; modal reconstruction 小二乘法川、格拉姆→施密特正交化法，其中最小 1 号i 二乘法中的正则方程组系数矩阵的条件数是复原矩 近年米。随着甚大规模集成技术和微加工技术 阵的平方，窑易出现严重病态的情况，解正则方程组 的发展，做机械蹲膜变形镜在低成本、小型化自适应