GB/T 32218-2015真空技术　真空系统漏率测试方法.pdf

ICS23.160 J78 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32218 2015 真空技术 真空系统漏率测试方法 — Vacuumtechnolo Testmethodsforleakratesofvacuumsstem gy y 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT32218 2015 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 测试原理 ………………………………………………………………………………………………… 1 4.1 氦质谱法真空系统漏率测试原理 ………………………………………………………………… 1 4.2 静态升压法真空系统漏率测试原理 ……………………………………………………………… 2 5 仪器与设备 ……………………………………………………………………………………………… 2 5.1 检漏仪和检漏系统 ………………………………………………………………………………… 2 5.2 标准漏孔 …………………………………………………………………………………………… 2 5.3 真空计 ……………………………………………………………………………………………… 2 5.4 氦罩 ………………………………………………………………………………………………… 2 5.5 累积阀 ……………………………………………………………………………………………… 2 5.6 测试阀 ……………………………………………………………………………………………… 2 6 测试条件 ………………………………………………………………………………………………… 2 6.1 测试场地的环境要求 ……………………………………………………………………………… 2 6.2 氦气 ………………………………………………………………………………………………… 3 6.3 氮气 ………………………………………………………………………………………………… 3 7 测试程序 ………………………………………………………………………………………………… 3 7.1 测试前准备 ………………………………………………………………………………………… 3 7.2 氦质谱法真空系统漏率测试 ……………………………………………………………………… 3 7.3 静态升压法真空系统漏率测试 …………………………………………………………………… 10 8 漏率测试中断处理……………………………………………………………………………………… 11 8.1 氦质谱漏率测试的中断处理 ……………………………………………………………………… 11 8