电池工艺流程.ppt

* * CONFIDENTIAL * * Cell workshop manager 黄强 总监(代) Process manager 工艺经理 黄强(代) Production manager 朱海峰(代) Equipment manager 仝斌 Engineer supervisor 花登根 Engineer supervisor 王刚 Engineer supervisor 冯春暖 Engineer supervisor 张军 Engineer Technician Engineer Technician Engineer supervisor 王健 Engineer supervisor TBD * * Production manager 朱海峰(代) Line12 Production supervisor 夏春风 Line34 Production supervisor 张燕飞 Line56 Production supervisor 朱海峰 PMC supervisor 王志琳 A shift monitor 张劲松 B shift monitor 晁海兵 C shift monitor 沈国民 Texturing group leader Diffusion group leader Etch Psg group leader PECVD group leader Printing group leader Testing Select group leader PMC 罗照峰 A shift materiel operator B shift materiel operator C shift materiel operator Administration assistant 闫慧君 * * 一.太阳电池的工作原理 ——光生伏特效应 吸收光子，产生电子空穴对。 电子空穴对被自建 电场分离，在PN结 两端产生电势。 将PN结用导线连接，形成电流。 在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换。 * * 不同日照量下太阳能电池片的I-V曲线 * * 二.Cell process flow ①Texturing and Cleaning(制绒和清洗) ②Diffusion(磷扩散) ③Plasma etch(刻蚀) ④Remove PSG(去磷硅玻璃) ⑤PECVD(等离子气象沉淀SiNH) ⑥Screen printing(丝网印刷) ⑦Firing (烧结) ⑧Testing select(测试分选) ⑨Visual inspection(外观检查) ⑩Packing(包装) * * 利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌 ，就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。 反应式为： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ (1)Texturing and Cleaning 制绒和清洗 单晶硅片表面的 金字塔状绒面 形成起伏不平的绒面，增加硅片对 太阳光的吸收 去除硅片表面的机械损伤层 清除表面油污和金属杂质 * * 制备绒面的目的：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 陷光原理图示： * * 化学清洗原理 HF去除硅片表面氧化层： HCl去除硅片表面金属杂质： 盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 NaOH浓度 无水乙醇或异丙醇浓度 制绒槽内硅酸钠的累计量 制绒腐蚀的温度 制绒腐蚀时间的长短 槽体密封程度、乙醇或异丙醇的挥发程度 影响绒面质量的关键因素 * * (2)Diffusion磷扩散 扩散的目的：形成PN结(在晶体内部实现P型和N型半导体的接触)——太阳电池的心脏 * * 扩散炉装置示意图 * * POCl3磷扩散原理 POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）