[机械标准]JBT 8554-1997 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验方法.pdfVIP

A29 JB/T 8554－1997 气相沉积薄膜与基体附着力 的划痕试验法 1997-04-15 发布 1998-01-01 实施 中华人民共和国机械工业部 发 布 JB/T 8554－1997 前 言 本标准是关于气相沉积 TiN 等硬质薄膜取样和试验的系列标准之一。 x 本标准首次制订。 本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位：中国科学院兰州化学物理研究所、大连理工大学。 本标准主要起草人：于德洋、翁立军、王 茹、汪晓萍、华敏奇。 本标准于 1997 年 4 月 15 日首次发布。 I 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 气相沉积薄膜与基体附着力 JB/T 8554－1997 的划痕试验法 1 范围 本标准规定了测定气相沉积 TiN 等硬质薄膜–基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。 x 本标准适用于气相沉积的硬质薄膜，也适用于气相沉积的润滑薄膜。 对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、 先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送样双方协商提出相 应文件。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB 6463—86 金属和其他覆盖层 厚度测量方法评述 GB/T 2848—92 洛氏硬度计 技术条件 GB/T 4342—92 金属显微维氏硬度试验方法 JB/T 7505—94 离子镀技术术语 JB/T 7707—95 离子镀硬质薄膜厚度试验方法 球磨法 3 方法概述 根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小 载荷，即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 LC 。 4 仪器 测定 LC 的自动划痕试验机的结构原理如图 1 所示。该仪器由下列主要部件组成：A—压头连续加 载电机；B—声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输入微机；C—洛氏硬度计标准压头；D—试 样台；E—位移电机，用以匀速沿水平方向拖动试样台；F—切向摩擦力传感器，连续检测压头与薄膜 之间的摩擦力并输入微机；G—试样台高度升降螺杆；H—加载压力传感器；I—光学显微镜(≥40 ×)；J —信号放大器；K—变换控制器；L—微型计算机，用以实施测试自控和自动处理数据，并动态显示及 存贮数据与图形；M—试样；N—CRT 显示器；O—绘图打印机，输出试验结果；P—压头加载机构；Q —主支架。 机械工业部 1997-04-15 批准 1998-01-01 实施 1 JB/T 8554－1997 图 1 自动划痕试验机结构原理图 5 试样 5. 1 基体 a)