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分析高压泵电路的ramp 对EEPROM 耐久力的影响
1,2 1 2
张红 ,黄其煜 ,韩兴成
1 上海交通大学微电子学院,上海(201203 )
2 芯成半导体(上海)有限公司,上海(201203 )
E-mail :ellenz_7@
摘 要:随着医疗电子,金融系统和汽车电子对EEPROM 的市场需求越来越多,对于可靠
性的要求也越来越高。尤其在未来容量越来越大的前提下,如何拥有良好的可靠性和数据保
存能力是一个非常重要的课题。业界一直试图通过工艺或者设计的优化来改善EEPROM 的
耐久力(endurance )失效。耐久力失效是指EEPROM 可以被编程和擦除直到氧化层被破坏,
即可以经受的最大编程次数。本文将结合器件本身固有的特点(在0.18 EE 工艺平台上),
通过研究可靠性失效相关的参数,找到与设计相关联的因素,并围绕这些因素进行设计的优
化和改良。本文主要从高压泵ramp 的角度来找到提高耐久力(endurance )的方法。
关键词:高压泵,ramp ,耐久力(endurance ),设计
EEPROM(Electrically Erasable 写(program ):Drain 端建立高压, 电子拉
Programmable Read-Only Memory) 即电擦 出浮栅。 此时 Vth 低,Cell 打开。
除式只读存储器,它是一种非挥发性存储 读(read):定义 “0”/”1” ;存在浮栅中的电荷
器,与擦除式只读存储器(EPROM)类似,外 数量可以影响器件的阈值电压(Vth ), 由此
加电源撤去后,储存的数据依然存在,要消 区分期间状态的逻辑值 1 或 0
除储存在其中的内容, 以电子信号直接消
[1]
除即可 。
1.基本编程原理
基本编程机制:Fowler-Nordheim 隧道效应 。
隧道效应实现对 EEPROM 的擦除与注入
Fowler-Nordheim 隧道效应机制主要是 图 1 cell 的结构剖面图
由强大电场的挤压,导致能带的頂端、尾端 Figure1 cell structure cross section
变薄(三角形)或是能带的弯曲变化过大, 2 .EEPROM 耐久力(endurance )
使得电子可在未获得足够的能量下穿过(而
[1] 耐久力 (endurance )用于评估 EEPROM
非越过)能带 。
单元的性能重要性参数。
表 1 EEPROM 单元的工作条件 耐久力(endurance )特性:
Table 1 EEPROM cell operation condition 耐久力特性表现于存储器的阈值电压区间,
它与编程次数有密切的关系,如图所示。
EEPROM 可以被编程和擦除直到氧化层被
破坏。这也意味着 EEPROM 是有限的,举
例来说大部分商用 EEPROM 产品可以保证
一百万有效编程次数[2] 。此情况下氧化
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