干涉仪透射球面镜选择.pdf

Zygo 透射球面选择 介绍 Zygo 公司的 GPI 干涉仪(包括 MARK/PTI) 的一个典型应用就是检测球面表面。将 被测凹面或凸面样品曲面中心与透射球面的焦点重合放置，我们就可以检测样品的 表面面形及不规则性。下文将主要介绍如何在球面测量中选择透射球面。 什么是透射球面？ 透射球面是用于将自主机输出的平行波前转变为球形波前，同时也用于将激光分离 为参考光束和测量光束两部分。Zygo 的透射球面可以安装在主机的附件调整架 上，也可以安装在位于平行输出光束中，远离主机的辅助调整架中。 每个透射球面的最后一个球面称为“主表面”，一般是指一个消球差的表面。参考 波前的质量就取决于主表面的质量。主表面大约将 4% 的激光反射回主机，形成参 考波前。 余下的激光，以高质量球面波前的形式，是作为测量波前。如图 1 所示，测量波前 在透射球面前焦点汇聚后，然后发散。光束中汇聚和发散的两部分可以看作一个有 有限曲率半径的汇聚球面波前和一个由无限曲率半径的发散球面波前。 透射球面是一组透镜，可以用传统的术语描述。透镜最重要一个参数就是它的相关 孔径，或称为速度。它是指焦距和输入光瞳的比例，通常表示为 f/number 。如果一 个透镜的焦距是 8 英寸（200mm ）,入射光瞳是 4 英寸（100mm），那么这就是一 个 f/2 的透镜。如图2 所示，一个 f/1 的透镜相比图 1f/2 的透镜有更大的相关孔径 （两倍），更快的速度。 f/1 比f/2 更快。相关孔径或 f/No.实际上描述的是透镜以其焦点为顶点的光锥的张 角。一个“窄”的光锥传统上是指一个“慢”透镜，一个“宽”光锥是指一个 “快”透镜。这些用于透镜和镜头的传统术语是我们比较熟悉的。 为了使大范围变化曲率半径地凸面或凹面透镜都可以测量，我们就需要 f/No. 同样 有很大变化范围的透射球面。下文中我们将解释原因。Zygo 的标准附件提供各种 各样孔径和 f/No. 的透射球面。您当然也可以向Zygo 就特殊参数的透射球面提出订 货。 描述被测样品的表面： 虽然 f/No.描述透镜产生的光锥是很方便的。但是对于描述凸面和凹面的“速度” 时，就不是那么方便了。因此，使用到R/No.这个参数。R/No.类似于 f/No.，它是 用曲率半径除以球面的净孔径，如图 3 所示。因此，f/No.和 R/No.如果数值相同的 话（如 f/2 和 R/2 ），就描述的是速度相等的光锥。 测量方案： 在测量球面时，需要样品放置在光束中。并使它的曲面中心与透射球面的焦点精确 重合。这样做的结果就是将样品与一个已知半径的波前重合。凹面样品应该放置在 光束发散部分测试（图 4 ）， 凸面样品则放在测量光束的汇聚部分测量。（图 5 ）测量光束从样品表面反射，经 过透射球面回到 GPI 主机与参考波面发生干涉形成干涉条纹。 实际限制： 为了测量到整个表面，透射球面的光锥必须足够“快”，可以覆盖（取样）测量区 域。换句话说，透射球面的 f/No.必须等于或“快”（小）于样品被测面的 R/No. 。 如果 f/No. “慢”（大）于R/No. ，那么仅样品的一部分能测量（图 6 ）。R/No.与 f/No. 的比例描述了表面尺寸的多大范围可被测量，比如说，对于 f/2 和 R/1 ，那么 有 50%的范围可测量。 相反，如果 f/No. 比R/No.更“快”（大），那透射球面就可以“覆盖”被测表面 （图7 ）。 这会使在干涉仪监视器上的样品表面图像比 f/No.与 R/No.一样大时监视器上的样品 图像小。此时图像与f/No.=R/No.时图像缩小的百分比可以通过 f/No.和 R/No. 的比 例计算得出。例如：在 f/5 和 R/6 情况下，干涉图将是全范围的 83.3%。当然，如 果干涉仪装备有缩放功能，比如 GPI-XP 及 Mark 干涉仪的 6 倍缩放功能，那 83.3%的干涉图就可以放大到全范围。 缩放功能在 f/No.与 R/No.不匹配时是非常重要的，它可以补偿干涉图大小，但只在 f/No.小于（快于）R/No 时有效。6 倍缩放可以将 R/No.6 倍于 f/No. 的被测样品表面 的干涉图补偿至全范围。比如说，使用 6 倍缩放功能。R/12 的表面可以在使用 f/2 的透射球面测量时，使监视器上干涉图保持全范围充满CCD 状态。由于多数情况 下，全范围干涉图缩小 50%是可以接受的，所以最大 R/24 的表面也可以测量。从 覆盖范围的角度出发，只有在测量那些特别“快”或特别“慢