高批量测试方案最佳的实践方案.PDF

高批量测试方案/最佳的实践方案 1 引言 在过去的几年中, 越来越多的用户要求能够对热翘曲进行批量测试。Akrometrix 针对这趋势, 推出 了几项新的功能, 以满足这些需求。为了充分利用这些功能, Akrometrix 还制定了一个详细的批量 测试协议。这个协议的目的是针对同类样品的批量测试给出一些特定的参数。此协议将用到许多 单件测试时使用的概念。因此, 读者应该先熟悉本公司的芯片和封装测试规范文件。本文以下将 列出一些基本建议, 不同的样品, 需要作出相应调整以期得到最佳测试结果。当测试参数不同时, 不同用户之间应互相协商以获取一致测试条件。 2 高批量测试的挑战 传统上, 对零件进行批量测试主要会面临两方面的挑战。一个是如何固定零件, 另一个是当零件随 着温度变化而产生位移时如何对其进行精确定位。 2.1 夹置具 零件的固定对于制约其在X 、Y 以及Z (程度会较轻)方向的移动至关重要。由于夹具本身也会受 到热应力, 它在升温过程中产生的热变形将会影响到所测零件, 从而产生测量误差。 对于 Z 方向的移动, 样品支撑架的变形只有在使用 300LPI 光栅测量小尺寸样品时会产生问题。 针对这一情况, 为了减小或避免 Z 方向位移。Akrometrix 推出了蜘蛛脚框架 (Spider Frame Fixture)(见图 1)。该夹具的一些特性使其能够最大限度地减少框架本身受热产生的翘曲, 从而保 证了使用300LPI 光栅的一致性。同时避免在峰值温度时样品与光栅碰触。 “蜘蛛脚框架”的中间有一块110×110×2 毫米大小的石英玻璃用来承载样品。选用这种石英 玻璃的原因有两个。首先,它是一种耐高温玻璃。许多其他玻璃类型,在 Akrometrix TherMoiré系 统热负荷下将会产生裂纹甚至完全破裂。所以只有耐高温玻璃才被选用。此外,这种石英玻璃在 TherMoiré系统所产生的温度下具有非常高的红外辐射传导能力。这使得大多数的红外热辐射都 能穿透石英玻璃而直接对样品加热。 此外, 用户可以定制石英玻璃并在上面加工出符合特定样本大小的凹槽。每个凹槽里都将是通孔, 只在边缘留出一点壁架来支撑工件。这些凹槽使样品在 X 和 Y 方向上保持固定。当使用 Part Tracking 时, 用凹槽固定住样品并不重要, 但是通孔将有助于加快升温速率。 1 of 8 图1) 蜘蛛脚框架 以100LPI 或200LPI 光栅对较大的样本进行测试时, 样品支撑架在 Z 方向上的移动并不重要, 因 此可以使用一片薄的耐高温玻璃来支撑样品(参见图2)。至于放置样品时在X 和Y 方向的初步对 准以及加热过程的移动则可以依赖Part Tracking 来校正。 图2) 0.7mm 厚度耐高温玻璃来支撑样品 2 of 8 2.2 分区 一旦加热程序中的所有数据都收集齐全后,用户必须至少创建一个分区(Partition)文件,这个文件将 用于所有相位图像(Phase Image) 。如果在加热过程中某一样品移动超过一个或两个像素, 就可 能需要手动修改这个样品的分区。在使用“蜘蛛脚框架”时样品移动应该是最小的, 但根据零件 分区的大小, 微小移动也会引起分区不当而导致边缘效应。在极端情况下, 甚至需要为热运行期间 的每一个相位图像生成一个不同的分区文件。当有效使用Part Tracking 时, 这些分区的问题将迎 刃而解。 3 物件追踪 使用Part Tracking 可使用戶在分析數據時無需手動創建分區, 同時也不必再定製夾具來限制樣品 移動。Part Tracking 使用邊緣識別算法, 由軟件來確定相同的樣品並自動設定分區。即使樣品在 加熱過程中平移或旋轉, 它們也可以在沒有任何用戶干預的情況下被識別。 用户在测量时仍然需要参照芯片和封装测试协议中的主要概念,Part Tracking 的参数(见图6)必须 设置得合适,使得软件能够找到零件。需要设置的主要参数是矩形模型的大小。这是当矩形边框 与相机窗口边界平行时所测得的以像素为单位的矩形尺寸。最简单的方