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第11章_外差检测系统课件
由于动镜在导轨上沿光轴移动的过程中,存在各种偶然因互的干扰(例如外界振动、导轨的平直度误差以及机械传动系统的不稳定等),使动镜产生偶然的反向运动,这种偶然的反向运动使计数器所显示的脉冲数为正反向移动的总数,而不是真正的被测长度,因此必然存在测长误差。为了解决这一问题,经光电转换并放大整形后,信号进入一方向判别电路,该电路把计数脉冲分成加、减二种脉冲,工作台正向移动时引起的脉冲为加脉冲、反向移动时引起的脉冲为减脉冲、把这两种脉冲分开后送入可逆计数器计数。 干涉信号的方向判别与计数原理 方向判别电路的原理。先在干涉系统中应用移相方法(详见后述)将干涉条纹分为两组且彼此位相偏移π/2,分别经光电转换后,输出的两组光电信号也彼此有π/2的位移偏移,这两组光电信号分别经放大、整形、倒相,变成四个位相依次差π/2的矩形脉冲,再经斯密特电路把波形变换成尖脉冲。 当工作台正向移动时,脉冲的排列为1、3、2、4 、1 ;反向移动时,脉冲排列次序为1 、 4、2、3、 1,如图所示。在逻辑电路上可根据脉冲1的后面是1或4来判别正向加脉冲或反向减脉冲,并分别逆入加脉冲的“门”或减脉冲的“门”中去,从而可得到总的加脉冲或减脉冲信号。 辩向电路原理 判向电路除提高了仪器的抗干扰能力外,还把一个周期的干涉条纹变化(即亮暗变化一次)变成四个脉冲输出信号。因此在测长时,当条纹变一条时,可逆计数器显示4个脉冲数,这等于把条纹4细分了,常称四倍频计数。此时每一脉冲代表λ/8的移动量,所测得的长度 为了提高光学干涉测量的准确度,七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域,发展了一种新型的光外差干涉技术。 光外差干涉是指两相干光束的光波频率产生一个小的频率差,引起干涉场中干涉条纹的不断扫描,干涉场中某点处光强以低频随时间呈余弦变化 ,经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号。 激光外差干涉测试技术 数据处理 双频激光器 1/4波片 准直系统 可动角 隅棱镜 检偏器 v 探测器 前置 放大器 f2 f1 f1±Δf f2 f1 f2 f1±Δf 双频激光器外差干涉测长原理图 偏振分光镜 f2-f1 f2-(f1±Δf) 双频激光外差干涉仪 光源: 双频He-Ne激光器 由于塞曼效应和频率牵引效应,使该激光器输出一束有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光 ,它们的频率差△V约为1.5MHz 双频激光器1发出双频激光束 通过1/4波片2变成两束振动方向互相垂直的线偏振光(v1垂直于纸面,v2平行于纸面) , 一小部分被反射到检偏器5上,检偏器的透光轴与纸面成450 一部分光束透过分束镜4沿原方向射向偏振分束棱镜8。偏振方向互相正交的线偏振光被偏振分束镜按偏振方向分光, v1被反射至参考角锥棱镜9, v2则透过8到测量角锥棱镜10 工作原理 经光束扩束器3适当扩束准直后,光束被分束镜4分为两部分 根据马吕斯定律,两个互相垂直的线偏振光在450方向上的投影,形成新的同向线偏振光并产生“拍”,其拍频就等于两个光频之差,即△v=v1—v2=1.5MHz 由光电接收器6接收后进入交流放大器7,放大后的信号作为参考信号送给计算机 光束返回后重新通过偏振分束镜10与v1的返回光会合,经反射镜11及透光轴与纸面成450的检偏器12后也形成“拍” ,其拍频信号可表示为 若测量镜以速度V运动(移动或振动),则由于多普勒效应,从测量镜返回光束的光频发生变化,其频移 正负号由动镜移动方向决定,当动镜向偏振分束器方向移动时,△v为负 拍频信号被光电13接收后,进入交流前置放大器14,最后也被送入计算机 计算机工作 (1)计算机先将拍频信号△v0 ±△v 与参考信号△v0进行相减处理后,就得到所需的测量信息△v 设在动镜10移动的时间t内。由△v引起的条纹亮暗变化次数为N,则有 于是 (2)由△v换算成L的工作由计算机通过软件自动进行,最后由显示器显示被测长度值。 优点: 前置放大器可采用交流放大器,避免了用直流放大器时所遇到的棘手的直流漂移问题 交流干涉仪抗干扰性能好 测量范围大(可测大于60m的距离) 应用 : 测长外,还可用于测角、测直线度及测振等 光外差通信基本上都是采用CO2激光器做光源,由光发射系统及接收系统两大部分组成。 发射系统: 6.4.2 光外差通信 滤光片 稳频原理: 发射波长增加,光通量亦增,输出电压增大,压电陶瓷使腔长缩短,发射频率提高,波长减短;反之,则波长加长 滤光片的滤光曲线 接收系统: 鉴 激光测速的原理是:是测量通过激光束的示踪粒子的多普勒信号,再根据速度与多普勒频率的关系得到粒子速度。测得了粒子的速度,也就是流动的速度。 激光测速的最主
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