HT-7装置真空记录表（检漏烘烤壁处理）.doc

HT-7装置真空记录表（检漏/烘烤/壁处理） 2005年11月20日 白班: 胡建生、谢、郑、王玲 夜班: （压强单位均为 Pa，温度单位均为 oC） 时间 内真空 外真空 温度 P#1 (ZDCI) P＃2 (PKR251) PLHW (DL7) 液氮泵(DL7) P#2 (DL7) 东冷泵 西冷泵 低杂波冷泵 扇区i (ZDF3) 扇区i (PKR251) P#6 (ZDF3) 装置 最高温 热沉 最高温 装置 最低温 真空室 最高温 真空室 d2 8:00 5.9E-5 1.2E-5 5.1E-6 3.6E-5 1.0E-5 1.3E-4 2.3E-6 1.1E-3 7.8E-4 2.9E-4 142 106 71 176 27 9:00 5.5E-5 1.1E-5 4.3E-6 3.3E-5 9.8E-6 1.2E-4 2.3E-6 1.0E-3 7.1E-4 2.7E-4 140 102 73 178 24 10:00 5.5E-5 1.0E-5 3.8E-6 3.4E-5 9.6E-6 1.0E-4 2.0E-6 1.0E-3 7.1E-4 2.9E-4 138 97 66 169 21 11:00 2.3pa 5.0E-5 3.6E-5 9.0E-7 1.2E-4 4.0E-8 1.0E-3 6.9E-4 2.5E-4 130 96 64 167 26 12:00 1.6pa 5.5E-5 3.6E-5 8.5E-7 1.1E-4 4.1E-8 9.6E-4 6.7E-4 2.5E-4 133 94 69 167 28 13:00 2.7E-4 2.1E-5 4.5E-5 1.1E-4 1.5E-5 9.4E-5 3.4E-6 1.0E-3 6.9E-4 2.7E-4 142 92 68 167 23 14:00 1.4E-4 1.4E-5 2.6E-5 6.7E-5 1.2E-5 9.2E-5 2.3E-6 1.0E-3 6.9E-4 2.7E-4 166 104 65 164 18 15:00 1.1E-4 1.3E-4 1.7E-5 5.6E-5 1.0E-5 1.0E-4 2.1E-6 1.0E-3 7.1E-4 2.6E-4 173 93 67 165 17 16:00 6.5E-1 5.0pa 6.0E-5 8.9E-7 1.9E-4 3.9E-8 9.4E-4 6.6E-4 2.5E-4 196 98 68 166 19 17:00 18:00 19:00 HT-7装置真空记录表（检漏/烘烤/壁处理） 2005年11月19日 白班: 胡建生、谢、郑、王玲 夜班: （压强单位均为 Pa，温度单位均为 oC） 备注 HT-7装置真空记录表（检漏/烘烤/壁处理） 2005年11月20日 白班: 夜班: 胡庆生、杨道文、谢、郑、王厚银 （压强单位均为 Pa，温度单位均为 oC） 时间 内真空 外真空 温度 P#1 (ZDCI) P＃2 (PKR251) PLHW (DL7) 液氮泵(DL7) P#2 (DL7) 东冷泵 西冷泵 低杂波冷泵 扇区i (ZDF3) 扇区i (PKR251) P#6 (ZDF3) 装置 最高温 热沉 最高温 装置 最低温 真空室 最高温 真空室 d2 20:00 5.7E-2 3.1E-2 6.9E-6 3.8E-6 1.0E-6 1.2E-4 4.1E-8 8.3E-4 5.4E-4 2.5E-4 217 150 82 184 33 21:00 6.1E-1 4.3 4.3E-6 1.0E-6 4.2E-8 1.5E-3 8.1E-4 3.8E-4 206 155 85 186 37 22:00 7.5E-1 4.5 3.4E-6 1.0E-6 4.1E-8 7.7E-4 4.7E-4 2.0E-4 203 156 92 190 45 23:00 7.3E-1 3.9 3.3E-6 1.0E-6 4.2E-8 7.0E-4 4.3E-4 1.9E-4 184 130 94 191 47 0:00 7.1E-1 5.2 3.2E-6 1.0E-6 4.2E-8 4.8E-4 1.7E-4 1.0E-4 159 127 95 191 49 1:00 6.2E-1 5.1 3.2E-6 1.0E-6 4.2E-8 4.6E-4 1.6E-4 1.1E-4 136 122 94 185 48 2:00 7.1E-1 4.2 3.1E-6 1.0E-6 4.2E-