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JEM2100F透過電子顕微鏡操作ガイド 精密分析室 201411/27 1 目次 電顕の始動 試料ホルダーの出し方 試料ホルダーの挿入 Z軸あわせ 観察（結像系の軸あわせ） 電圧軸の調整 電流軸の調整 対物レンズの非点補正 回折スポットの光軸調整 透過像の撮影 制限視野回折 暗視野像 収束電子線回折 多重露出法 終了 フィルムの取り出し フイルムデータの入れ方 各種ホルダー 各種データ 説明　左操作盤 電圧の印加する 2 コンデンサーレンズ偏向コイルの調整 コンデンサーレンズ偏向コイルの調整２ 透過像観察のための調整 結像系の軸合わせ対物レンズの粗調整 カメラでの撮影 STEM像の観察 説明　右操作盤 極微小領域電子線回折 照斜系の使い方 停電からの復帰 装置の完全停止 これらの操作は通常は必要ありません （１）窒素ガスの弁を開く （２）ＴＥＭ本体の電源スイッチを押し 　　起動する （３）PCを起動する （４）ＴＥＭＳｅｒｖｅｒを起動する （５）ＴＥＭＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒを起動する 電顕の始動 目次に戻る 3 電圧を印加する 目次に戻る １．Nomalを押して200kVを印加　13分程度かかる 4 通常はここから 試料ホルダーの出し方 （１）BEAMがOFFになっていることを確認 （２）対物絞りを外す （３）試料位置ＸＹＺが０、傾斜角ＸＹが０ 　　　を確認　 　　（なっていなかったらStage Neutralをダブルクリック 　　　　するかＦ６を押す） （４）ゴニオ下の緑ランプの点灯を確認 （５）試料ホルダーを止まるところまで引き、反時計方向に大きく 　　　回し、さらに引き、反時計方向に少し回す。つぎに、 　　　PUMP/AIRスイッチをAIRにし 　　（スイッチは少し引っ張って切り替える）　　　 　　２０秒待ちホルダーを引き出す 目次に戻る 5 試料ホルダーの挿入 （１）試料位置ＸＹＺが０、傾斜角ＸＹが０を確認 （２）試料ホルダーのＯリングにゴミがついていないことを確認 Ｏリングのグリスが乾いているときはグリスアップすること （専用の白いオイル状のもの） （３）試料ホルダーのガイドピン　　　　をゴニオメーターの溝に合 　　わせ、止まるところまで押し込み、PUMP/AIRスイッチ 　　をPUMPにして予備排気をする（約５分間） 目次に戻る 6 注：Ｂｅ二軸ホルダーを使用するときは一回目は３０分程度予備排気して下さい 大気中で保存してあるため真空が上がりません （４）ゴニオメーターの緑ランプがついたら（この状態で出来るだ け待てばＤＰで排気しているのでよい真空度になる） 　　試料ホルダーを時計方向に少し回し、 　　止まるところまで押し込み、さらに時計回りに 　　大きく回し、止まるところまで押し込む 注意　 ２軸ホルダーはＸ軸が３５度、Ｙ軸が２０度まで傾斜できます（ホルダーによって異なります）超えると鏡筒と接触し警告ブザーが鳴ります。 目次に戻る 7 フイルムデータの入れ方 目次に戻る ２．Ｔｅｘｔ　をクリックし　データを入力する 　このデータがフイルムに焼き付けられる １．Photo をクリックし、Film Camera Propertyを起動する 8 観察　（照射系軸合わせ） （１）BEAMをON （２）MAG1を押し倍率を４万倍にする、 　　BRIGHTNESSでビームを絞る （３）SPOT SIZE1にし、Ｆ４:GANA を押し、SHIFT 　　でビームの中心に合わせる。 （４）Wobbler/Anodeを選択しDEFつまみで中心 　　で収れんするようにし、Wobbler/Anodeを解除 （５）次にＦ４：ＧＡＮＡを解除して、SPOT SIZE 5に 　　　しBRIGHT TILTを押し、左右のSHIFTで ビームの中心に合わせ、 　　　これをくり返す。 （６）BRIGHTNESSを時計方向に回し、ビームの中心が蛍光板の中心から離 　　　れていくようだったら、集束レンズ絞りの２つのつまみで調整 目次に戻る 9 （コンデンサーレンズ偏向コイルの調整）通常は必要ない 　　　　傾斜調整 （１）Alignment Panelを表示 （２）MAG1を押し倍率を４万倍にする、 BRIGHTNESSでビームを絞る （３）SHIFT X,Yつまみで電子線を中心にする （４）Wobbler/TiltXをクリック （５）Compensater/Tiltをクリック （６）DEFつまみで電子線を１つにする （７）Wobbler/TiltXを解除する （８）Wobbler/TiltYをクリック （９）Compensater/Tiltをクリック （１０）DEFつまみで電子線を１つにする （１１）Comp