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机械零件三维表面形貌测量与评定的研究
机械设计与制造 第 期
8
Machinery Design Manufacture
年 月
- 102- 20078
文章编号: ( )
1001-3997200708-0102-02
机械零件三维表面形貌测量与评定的研究
1,2 2 1
杨旭东 李家春 谢铁邦
1 2
(华中科技大学,武汉 贵州大学,贵阳
430074)( 550003)
mechanicalcomponent
1,2 2
,
YANGXu-dong, LIJia-chunXIETie-bang
(1 )
2
( )
GuizhouUniversity,Guiyang550003,China
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!
!
! 【摘 要】介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原
!
理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了 左右。另外,带计量系统的 !
! 5nm
! 二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作为二维工作台的计量系统,所以在表 !
! !
面形貌的测量过程中二维工作台在 和 两个水平方向上都能获得精确的定位。 !
! X Y
! 关键词:机械零件;三维表面形貌;测量与评定 !
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