江西LDK10032404.pdf

质量信息处理单 编号：CSUN-RE-QU0005 第 1 页/共 2 页 物料号 100061 物料描述 单晶硅片125*125(对角线165） 检验批 010000003780 供应商 LDK 材料批次 送检数 99,242.000 采购订单号 4500000249 入库凭证 5000006246 合格数量 0.000 计量单位 PC 让步接收数 0.000 退回原因 质量不合格 不合格现象 代码 不合格现象 缺陷数 备注 QM01-C26 TTV超标[26] 16 QM10-Z21 其他问题 99,226 - (合计) 99,242 合同条款 （S125和S156）P型 导电类型 电阻率1-3/3-6；径向电阻率不均匀度RRV25%； 对边宽 (mm) 125±0.5，15 6±0.5； 对角线 (mm) 150±1/ 165±1，200±1/ 205±1；圆弧长(mm) 27.77-32. 20/10.40-14.11，19.93-23.80/14.43-18.16； 方片角度90°±0.3°；厚度(um) 200±20 /220±25，（硅片的平均厚度为200微米；硅片表面所有厚度要在规定范 围内，最薄处不低于180微米；同批硅片的厚度要呈正态分布，即测量数据的均值 ±3 δ应在厚度规定的范围内）；厚度不均匀度TTV≦30 （在保证硅片表面厚度情况 ，对硅片表面取五点测试 （中心点及距四周边缘6mm各取一点），来换算厚度变化 量）； 位错密度 （个/cm2) 1000； 有效载流子寿命 1.35us，且1.4us 占90%以上；体少子寿命15us，扩散后测试； 光致衰减LID≤3%； 硅片中心低响 应 （黑心片）比例0.05%；弯曲度 （um）≦40；无明显切痕，允许的切痕深 度≦10um；无凹坑，硅片表面平整，无硅落现象； 无穿孔；无沾污，不允许有肉 眼可见的油污、硅粉、清洗剂、水痕；无崩边；无应力，当硅片拿在手上轻微晃动 时不能有嘣咚嘣咚的响声；无孪晶，从外观看，出现两个及以上的晶体；无划伤， 只要在硅片表面有明显肉眼可见异物划过的痕迹，不论长度和面积大小都不合格； 无氧化膜未磨；无缺口；无缺角；无裂纹/隐裂；偏心 偏离度0.5mm。 杂质含量：基体总金属杂质含量 (Fe、Cr、Ni、Cu), ppba 50； 表面总金属杂质 含量 (Fe、Zn、Na), ppba 70； 氧 （atoms/ ） ；碳 （atoms/ ） 。 质量信息处理单 编号：CSUN-RE-QU0005 第 2 页/共 2 页 部门负责人： 年 月 日 填报部门 发送部门 编制人 （打印人）：DONGCHUNBING