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烘烤温度对溶胶-凝胶法制备镧掺杂钛酸铋薄膜结构与铁电-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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烘烤温度对溶胶 凝胶法制备镧掺杂钛酸铋
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薄膜结构与铁电性质的影响!
王 强 沈明荣 侯 芳 甘肇强
（苏州大学物理系，苏州 !#$$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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采用溶胶 凝胶法，在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下，发现烘烤温度（即溶剂的挥发温度）对
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镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响 在较低烘烤温度下得到的薄膜（ ）择优取
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向明显 但随着烘烤温度增加，薄膜的（ ）择优取向逐渐减弱 薄膜的表面晶粒形貌则从棒状逐渐转变为盘状 还
) * ) )
测量了薄膜的铁电性质，发现在 烘烤温度下得到的薄膜具有最大的剩余极化强度， 为 ! 对实验
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现象进行了定性解释)
关键词：溶胶 凝胶法，烘烤温度，铁电薄膜
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结晶温度外，有机物质分解温度对C3 薄膜的结构
［］
. 引 言 和铁电性质有重要的影响* ) 但是目前未见到对薄
膜烘烤温度与其结构和铁电性质关系的研究报道)
本文采用溶胶 凝胶法，对在不同烘烤温度下得到的
铁电薄膜因其在非易失性铁电随机存储器 (
［— ］
（ ）中的应用而倍受关注 # 人们已经对很
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