热挫屈变频天线.doc

微機電技術製作熱挫屈致動變頻開槽微帶天線 黃榮堂 張錕能 林忠助 蘇金練 國立台北科技大學機電整合研究所 摘要 本文旨在提出一種利用熱挫屈結構(thermally buckling structure)來達到變頻功能之開槽耦合微帶天線(aperture coupled microstrip patch antenna)，並將此天線結構與現在廣受討論的微機電製程技術結合。此變頻天線主要是將patch天線建立在熱挫屈結構上，並利用此結構使得patch與ground間，除了介電層外，還包含了可由熱挫屈結構來調整之空氣層。當空氣層厚度因熱挫屈結構而產生變化時，即相對是改變了patch與ground間之等效介電常數，因而使得天線的共振頻率獲得改變。本文將透過軟體進行模擬來說明熱挫屈結構產生之介電常數變化對天線共振頻率的影響，而在模擬的結果中，可看出當patch與ground間的等效介電常數產生變化時，天線共振頻率的可變動範圍在4.3 GHz至4.8 GHz。 Abstract A new method of tuning the resonant frequency of an aperture coupled microstrip patch antenna is proposed in this paper. The antenna is constructed on a substrate with thermally buckling structure by using micromachining technologies. Since the substrate is composed of a layer of dielectric material and a layer of air, the thickness of the air layer can be tuned by thermally moving the dielectric layer up and down. Therefore, the equivalent dielectric constant of the substrate under the patch antenna can be tuned to obtain the variable resonant frequency of the antenna. The simulations by an EM software package are implemented to find the range of the tuning frequency and the quantitative relationships between the thickness of the air layer and the resonant frequency. The design case is for an aperture coupled microstrip patch antenna of 4.5 GHz. The simulation results show the tuning range is from 4.3 GHz to 4.8 GHz. 一、前言 微機電系統技術(Micro Electro Mechanical System, MEMS)是一門跨領域的新科技，它結合了半導體、電子、機械與化學等專業技術，自1980年代末期起，即廣受歐美日先進國家的重視，發展初期多應用於半導體感測器，具有體積小、價格低及功能強等優點，如壓力計、加速度計、生物感測器等都有逐步取代傳統感測器之趨勢。在微波電路上的應用上，截至目前為止在全世界僅有密西根[1][2]、科羅拉多大學及史丹佛大學等在進行部份研究，因此未來仍有相當的發展空間。 近年來在衛星、高性能戰機、火箭及無線電通訊系統的應用中，對天線的大小、重量、成本及設計上均有所限制，因微帶天線具備了體積小、重量輕、厚度薄及低製造成本[3-6]等優點，且易於與半導體製程結合，因此受到廣泛的使用。 在新一代產品體積逐漸縮減下微機電製程可說是最符合此項要求的技術。另外在雷達、全球定位系統及汽車通訊等的應用，往往需要低成本、厚度薄及能於多頻操作下的天線，於是變頻微帶天線的特性及應用層面，隨著通訊技術的進步，日益凸顯其重要性。 本文提出的天線結構為開槽微帶天線，其饋入方式使用開槽耦合饋入的方法，可有效降低饋入端所造成之非預期輻射及因饋入點造成不對稱所引起之交錯極化輻射(cross-polarized radiation)，提高極化純度[7-10]，且有利於將微帶天線與微波電路整合在一起；在變頻方面，是利用熱挫屈致動的方式改變patch與ground間