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第二章 电阻式传感器 电阻式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 第一节 应变式传感器的结构和工作原理第二节 应变式传感器的测量电路第三节 应变式传感器的应用 第一节 应变式传感器 目前自动测力或称重中应用最普遍的是应变式传感器，应变式传感器有下列优点： 1.精确度，线性度好，灵敏度高 2.滞后和蠕变都较小，寿命高 3.容易与二次仪表相匹配实现自动检测 4.结构较简单，体积较小应用灵活 5.工作稳定和保养方便 应变式传感器除可用于测量力参数外，还可用于测量加速度，振幅等其他物理量。 灵敏度系数K受两个因素影响 一是应变片受力后材料几何尺寸的变化， 即1+2μ 二是应变片受力后材料的电阻率发生的变化， 即（?ρ/ρ）/ε。 对金属材料：1+2μ＞＞(? ρ/ρ)/ε 对半导体材料：(? ρ/ρ)/ε＞＞1+2μ 大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内， 电阻的相对变化与应变成正比，即K为常数。  (二)应变片的基本结构及测量原理 用应变片测量时，将其贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这是用来直接测量应变。 通过弹性敏感元件将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，则可用应变片测量上述各量，而做成各种应变式传感器。 二、应变片的类型和材料 （一）应变片的类型和材料 1.金属丝式应变片 回线式：横向效应较大 短接式：克服横向效应 金属丝式应变片材料要求 3.金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大。 存在问题：温度稳定性差 (二)应变片的粘贴 应变片是用粘合剂粘贴到被测件上的。粘合剂形成的胶层必须准确迅速地将披测件应变传进到敏感栅上。粘合剂的性能及粘贴工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数，线性以及它们受温度变化影响的程度。 对粘合剂和粘贴工艺有严格要求 应变片的粘贴 应变片的粘贴 2.贴片：在应变片的表面和处理过的粘贴表面上，各涂一层均匀的粘贴胶 ，用镊子将应变片放上去，并调好位置，然后盖上塑料薄膜，用手指揉和滚压，排出下面的气泡 。 应变片的粘贴 3.测量 ：从分开的端子处，预先用万用表测量应变片的电阻，发现端子折断和坏的应变片。 应变片的粘贴 应变片的粘贴 单臂电桥 双臂电桥 四臂全桥 双臂电桥 R1、 R2为应变片， R3、R4为固定电阻 。应变片R1 、R2 感受到的应变?1~?2以及产生的电阻增量正负号相间，可以使输出电压Uo成倍地增大。 四臂全桥 （3）悬臂梁式力传感器 应变式力传感器 应变式力传感器 各种悬臂梁 各种悬臂梁 第二节 压阻式传感器 压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。 半导体压阻式传感器的分类： ①粘贴式应变片 ②扩散硅型压阻传感器 特点：灵敏系数大，分辨率高，频率影响高，体积小。主要用于测量压力、加速度和载荷等 2.线路补偿法 ①常用的最好的补偿方法是电桥补偿法。 补偿原理：桥路相临两臂增加相同电阻，对电桥输出无影响。电桥输出电压Uo与桥臂参数的关系为 电桥输出电压Uo与桥臂参数的关系为 Uo=A（R1 R4－ RB R3) 式中: A——由桥臂电阻和电源电压决定的常数。 R1—工作应变片； RB—补偿应变片? 温度补偿条件： ①R3=R4。 ②R1与RB为特性一致的应变片。 R1为工作应变片， RB为补偿应变片它们处于同一温度场，且仅工作应变片R1承受应变。 补偿过程： 当温度升高或降低Δt = t－t0时, 工作应变片由R1变为R1+ΔR1t，补偿应变片由RB 变为RB+ΔRBt。 且ΔR1t= ΔRBt。 此时电桥输出为 Uo=A［（R1+ΔR1t）R4－ (RB+ΔRBt)R3］=0 若此时被测试件有应变ε的作用, 则工作应变片电阻R1又有新的增量ΔR1=R1Kε, 而补偿片因不承受应变, 故不产生新的增量, 此时电桥输出电压为  Uo = AR1R4Kε   Uo 与ε成单值函数关系。 2 热敏电阻补偿法 热敏电阻Rt与应交片处在相同的温