生产IGBT的一种工艺_三重扩散.pdf

第 卷 第 期 固体 电子学研 究与进展 , , 年 月 生产 的一种工艺 三重扩散 — ‘ 李如春 去非 启秀 陈 陈 江 学 器 , 州 , 浙 大 功率 件研 究所 杭 , 。 一 一 收稿 一 一 收 改稿 根 目 国 导 现 , 了 方 三重扩 提要 据 前 内半 体工艺水平 的 状 提 出 一种制作 的工艺 法 — , 着 用器 拟 , 理论 上 和 实 了 压 器 上 散法 并 重 件模 的方法 从 分析 证 三重扩散法在高 件制作 的优 。 和 行 , 用实验 证 正 点 可 性 并 结果验 其 确性 关键词 三盆扩散 器件模拟 中图分类号