原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
磁控溅射法沉积TiO2低辐射膜及AFM分析
SEMICoNDUCTORoPTOELECTRoNICSV01．26No．5 Oct．2005
郑子尧1，王 柱1，李春领2，赵青楠2
(1．武汉大学物理科学与技术学院，湖北武汉430072；2．武汉理工大学。湖北武汉430072)
摘 要： 用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上，在不同氧分压条件下制备了一组TiO：低辐
射薄膜样品。用原子力显微镜(AFM)观察了不同制备条件下得到的TiO。薄膜样品的表面形貌，
并测量了它们的红外透过率，发现随着氧分压上升，薄膜晶粒长大，红外透射率降低。
关键词： 直流反应磁控溅射；低辐射膜；原子力显微镜
AFM on Low。E
AnalysisTi02 ThinFilms
DepositedbyMagnetronSputtering
ZHENG Zhul，LI
Zi—ya01，WANGChun-lin92，ZHAOQing—nan2
430072，CHN；
(1．Dept．ofPhysics，WuhanUniversity，Wuhan
2．Wuhan of 430072，CHN)
UniversityTechnology，Wuhan
thinfilmswere on substrateDCreactive
Abstract：Ti02 grownglass by magnetron
atdifferent of thinfilms
sputtering oxygenpartialpressure．ThemorphologyTi02 deposited
undervarious conditions
wereobserved AFM，and transmittance
sputtering byusing optical
of thinfilmswere resultsshowthatthe thinfilms
spectraTi02 measured．The Ti02 deposited
under
the havethe andthelowerinfrared
higheroxygenpressure biggercrystallites
transmissivity．
words：DCreactive
Key films；AFM
magnetronsputtering；low—emissivity
1 引言 我们使用直流反应磁控溅射制备TiO。薄膜。
磁控溅射具有制备工艺简单、成本低等优点，已成为
低辐射镀膜玻璃表面镀有一层低辐射膜。所谓
制备透明导电薄膜的主要方法之一。
低辐射膜指的是在可见光区高透射，在红外区高反 原子力显微镜(AFM)[33由于具有很高的空间
射的薄膜材料。低辐射膜大致有4种
文档评论（0）