第二讲-透射电子显微镜课件.ppt

当M>1时，放大物镜像；当M<1时，缩小物镜像 三、中间镜 弱激磁透镜， 长焦距变倍透镜，可在0～20倍调节 中间镜可用来调整电镜的总的放大倍数。 有的电镜可能不止一个中间镜。 成像操作：中间镜物平面和物镜像平面重合，荧光屏上得放大像 衍射操作：中间镜物平面和物镜背焦面重合，荧光屏上得电子衍射花样 物镜像平面上有一选区光阑，通过它可以进行选区电子衍射操作。 电子显微图像 电子衍射 物 物镜 物镜背焦面 一次像 物镜光阑 中间镜 选区光阑 二次像 投影镜 三次像 一次衍射像 二次衍射像 四、投影镜 把经中间镜放大的像(或衍射花样)进一步放大，投影到荧光屏 短焦距，强磁透镜 景深和焦长都非常大 即使电镜总放大倍数有很大变化，不会影响图像清晰度 目前，采用 5级透镜放大，即中间镜和投影镜各两级。 2.2.3 观察记录系统 荧光屏：观察、记录 照相底片：记录 慢扫描CCD相机：观察、记录 视频摄像机：观察、记录 2.2.3 真空系统 机械泵，油扩散泵，分子泵，离子泵 电子与气体分子碰撞，降低衬度，污染样品。 产生气体电离和放电现象 电子枪灯丝被氧化而烧断 为什么需要真空？ 场发射枪部分，要求真空在10-9Pa 旋片式机械泵 使用真空：10-2Pa 油扩散泵 使用真空：10-1~10-8Pa 涡轮分子泵 利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走 使用真空：10-2~10-8Pa 吸气剂离子泵 吸气剂离子泵是将被抽气体分子电离，并在电磁场或电场的作用下将其输送到泵的吸附表面而被吸气剂捕集。 蒸发离子泵 溅射离子泵 使用真空：10-2~10-9Pa 承载样品，并使样品能在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区或位向进行观察分析。样品架必须使样品牢固夹持在样品座中并保持良好的热、电接触，减少因电子照射引起的热或电荷堆积而产生样品的损伤或图像漂移。 2.2.4 样品台与样品架 思考题 1、试说明TEM的基本构造。 2、TEM中如何实现电子显微成像模式与电子衍射模式操作？ 第二讲 透射电子显微镜 2011年2月18日美国总统奥巴马在访问某公司透射电镜实验室，在系统的显示器上检查图片时，“我看到了一些原子，”他说，“请别碰我的原子。” 日本电子公司生产的 JEM-2010 FEI公司生产的TECNAI-F30 2.1透射电子显微镜发展简史 1897年J.J. Thompson发现了电子。 1924年L. De Broglie发现运动电子具有波粒二象性。 1926年Busch发现在轴对称的电磁场中运动的电子有会聚现象。 1931年，在德国柏林第一台电镜诞生（Max Knoll and Ernst Ruska）。 1934年电镜的分辨率可达50nm。 1939年德国西门子公司第一台电镜投放市场，分辨率优于10nm。（Ruska, von Borries） 1940 电子光学和电子透镜的基本理论研究(W. Glaser, O. Scherzer) 1951 X射线谱(R. Castaing) 1956 第一张晶格像产生(J. Menter) 1957 多层法的提出(J. Cowley, A. Moodie) 1970 分辨率小于4 ?的高分辨电子显微镜诞生。 1986 E.Ruska获得了诺贝尔物理学奖 (together with G. Binning and H. Rohrer, who developed the Scanning Tunneling Microscope) Louis de Broglie 1892-1987 Ernst Ruska 1906-1988 电子显微镜之父 E.Ruska, 1986年诺贝尔物理学奖 ERNST RUSKA I was born on 25 December 1906 in Heidelberg as the fifth of seven children of Professor Julius Ruska and his wife Elisbeth. After graduating from grammar school in Heidelberg I studied electronics at the Technical College in Munich, studies which I began in the autumn of 1925 and continued two years later in Berlin. I received my practical training from Brown-Boveri & Co in Mannh