PVD涂层技术的发展与应用.ppt

刀具PVD涂层技术的发展与应用 (广东工业大学 机电工程学院，广州 510006) 摘要 物理气相沉积（physical vapor deposition, PVD）是利用 某种物理过程，如物质的热蒸发或受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到沉积涂层的可控转移过程，是在分子、原子的尺度上沉积涂层。PVD涂层技术具有沉积温度低、对基体影响小、能制备多层复合纳米涂层结构、绿色环保等特点。本文主要对刀具PVD涂层技术的发展、工作原理以及其应用做一个简要的概述。 关键词 PVD 刀具涂层 溅射 纳米复合结构 The Development And Application Of PVD Coating Technology For Tools Huangjian (Institute of Manufacturing Technology, Guangdong University Of Technology, Guangzhou 510006) ABSTRACT: Physical vapor deposition (physical vapor deposition, PVD) is the use of a physical process, such as thermal evaporation of the material