表面微型质谱仪.docVIP

表面微结构/微型质谱仪 加工应用 摘要。本文提出的概念及处理的一个微型质谱仪,尺寸约只有几厘米3。其制造是基于技术中使用细致的处理和在特别的各向异性腐蚀,薄膜沉积、电镀、和阳极键合。质谱仪的由一个等离子体电子源经衡量电离以及离子光学和大规模分隔符专为系统的小维度。 质谱仪属于最精确的工具用于生态分析。目前主要用于质谱仪相对体积分隔符。大尺寸的几个10厘米的长度需要低压力的1/10000米栏或少来防止离子碰撞,这将减少该决议。下面的生产真空1/10000米酒吧一个两阶段泵aystem是必需的——通常由叶片型泵和一个涡轮分子的扶轮支持总体成本的分享。大量以及所需的电力供应会降低可移植性和限制使用这些质谱仪。 质谱仪捏造作为一个微型大大减少这些缺点。小分离器2.5毫米长度促进大众分离压力约为1到10pa,因此要求也大大减少了真空系统。由于体积小疏散使用微真空泵似乎可行。通过芯片上实现技术的运用细观力学和薄膜技术的成本大规模生产可以大幅减少。小维度和使用集成电路的产生挠度电压大大增强了可移植性。 这些优势让质谱仪对许多现有和潜在的应用程序,例如过程监控在微电子技术、航空航天以及光学镀膜行业以及一个扩张等领域的污染监测(空气质量,排放监测、识别和分析的氯氟化碳),位置的泄密在天然气、石油和供水管道和坦克和医学诊断。 1分离原理 有各种各样的分离原则和技术设计。这两个最著名和最广泛的有“维也纳过滤器”的使用静态电场和磁场实现空间分隔不同的大规模[1]和四极矩过滤基于所使用的动态电场产生稳定的或不稳定的轨迹为不同的群众[2]。 二者共有分离原则的要求高磁场强度来迫使离子到指定的轨迹。 微型技术许可的很小的结构的造型纪念它能够获得满意的磁场强度适中的电压。使用非常小的电压大约10V允许应用程序的集成电路产生更多复杂和更高的频率信号作为常用的,例如,在一个四极矩分隔符。这允许开发大规模筛选尤其适合一个显微机器系统把所有其优势ans局限性考虑[3] 提出了使用的信号的质谱图所示Fig,1。重复的频率的信号S1和S2的是12.5 MHz和最高频率的组件被传输的是25 MHz。 当被应用到电极分隔符,如图2所示,信号S1到S3导致偶极旅行沿着通道并更改其极性从一个电极对未来(见图3)。相邻电极带倒信号两倍的电场强度。 移动的偶极场有重复频率为12.5兆赫,即。每80μs一个新的偶开始从入口通道的分隔符。偶极旅行的距离在此时间跨度四电极的速度——相当于10000 m / s。因此,离子注入以这样的速度进入分离器影响横向力方向相反但数量相等的一个电极对未来。这导致一个正弦轨迹穿过分隔符,从而检测的离子(参见图14)。 较快或较慢的离子达到静态字段地区、中和在电极。因此,大规模筛选是选择性的速度相结合原则瞬时的轨迹稳定性。 离子的速度调整加速,所有离子静电场获得同样的动能E =欧盟= 1/2mv2和开发不同的速度与他们的群众(比例为1 / m?)。 一个大规模扫描可以轻松获得通过的变种静电加速度字段。在通信的重复性的离子光束进入分离器。 2 微型系统 一个示意图质谱仪的草图显示在图4。进行测量的是在电离室的电离电子碰撞。完成最高可能的电离率在小尺寸、压力室是大约10 Pa -100 Pa。这些电子产生的等离子体和微波刺激中提取等离子腔通过一个双栅的系统工作时,加速度电极。同时,它可以防止血浆从燃烧的外部等离子腔和抑制电场穿透了电离室。 提供一个空间限定区域的离子化,这是必要的,以保持能量分布的离子尽可能的窄,电子束聚焦在一个100μm×100μm小洞宽度和50μm的长度从而进入电离室。 洞里充当一个压力阶段,为了最小化等离子气体的混合与进行测量。 一个静电透镜体系主要离子通道的分隔符。同时它作为一个压力阶段分离电离室和分隔符。这里的压力1-10pa确保必要的自由路径的长度在分离器通道大约2.5毫米长。 作为一个探测器积分器半导体元件可能使用了一种低噪声、整合几个离子包。由于近乎无限的输出电阻的分隔符、离子电流低于1 pa是可以衡量的。 检测可以进一步增强被集成电子的乘数通道。 3 等离子腔 实现系统的寿命长,避免必要的高真空条件下,电子束的生成的电离过热蒸气从等离子体而不是难事。 虽然一代一微波刺激等离子是电的难度比一代的直流等离子体,两个决定性的优势获得应用微波等离子体在微型质谱仪:首先毁灭的商会由于保持低增长影响溅射系统寿命,其