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2001年10月 表 面 技 术 第30卷 第5期 羹确粤聋麒稀释娜一} 膜基界面结合强度表征和评价 马峰.蔡殉 (上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点实验室，上海200030) 〔摘要〕膜基界面结合张度是直接关系到膜基体系最终使用性能和可幸性的关健因紊。对现用的薄膜与基体之 间界面结合强度表征方法进行了综合评述，并报过了一些研究新进展。 〔关键词」薄膜;基体;结合强度 【中图分类号」TQ113.25`1 文【献标识码』A 文〔章编号11001一3660(2001)05一0015一05 CharacterizationandEvaluationoftheInterfacial BondStrengthBetweenCoatingandSubstrate MA矛eng,0叮儿n (KeyLab.oftheMinistryofEducationforHighTemperatureMaterialsandTesting,ShanghaiJiaotongUniv二Shanghai200030,China) (Abstrad] Theinterfacialadhesionandbondstreng户betweencoatingandsubstrate，often此predominantfactorin ‘ 一substratesystems.Inthispaper,awiderangeoftestmethods,whichhasbeen 一u‘bstratebondstreng山.isreported.Same， developmentsinthis. 。al- Bondstrength 0 引 言 足以下条件:(1)能使薄膜脱离基体并有良好的物理模 型;(2)能够准确地测定有关力学参量。此外，测试方 材料表面改性和薄膜材料应用中，首先要求薄膜 法应简单易行，并可在工件上直接进行无损检测;重复 与基体之间具有足够的界面结合强度。膜基之间结合 性好，易于实现自动化。 强度的好坏是评价膜层质量的关键指标，是保证薄膜 界面结合强度的测试方法大体可分为3类:核化 满足力学、物理和化学等使用性能的基本前提川。如 法、力学法和混合法[[3]。核化法在原理上是测定单一 何提高薄膜的界面结合强度，如何正确评价和表征膜 键合断开时所吸收能量的总和，概念上十分简单。但 基之间的界面结合强度是一个有待进一步研究的热门 这种方法需要建立在如下研究基础之上:(1)形核率; 话题[2]。 (2)核岛密度:(3)临界形核能:(4)沉积原子在基体表 面的停留时间。对于实际的薄膜而言，此方法是不可 1界面结合强度的表征与评价 行的。 力学法的实用性较强。一般的做法是在薄膜/基 体体系中施加一个力，该力可平行或垂直于界面直接 薄膜与基体间的结合强度可从两种不同的途径去 施加其上，也可间接地引人到薄膜和基体体系中。以 测量:(1)以力的形式，把薄膜从基体分离单位面积所 下对各种常用方法进行说明。 需的最大的力称为薄膜结合力;(2)以能量或功的形 式，把