Piranha改性玻璃基板液相沉积制备SrTiO3功能陶瓷薄膜.pdfVIP

第 28卷第 5期 无 机 化 学 学 报 Vo1．28No．5 2012年 5月 CHINESEJ0URNAL0FINORGANICCHEMISTRY 1065—1069 Piranha改性玻璃基板液相沉积制备SrTiO3功能陶瓷薄膜 刘 剑 董秀珍 郝 斌 李 悦 (詹 山学院环境与化学工程系，唐 山 0630001 摘要 ：以Piranha溶液处理玻璃基板 ，采用液相沉积技术 ，制备 了钛酸锶晶态薄膜。改性基板 的亲水性测定与偏光显微镜测试表 明，Piranha溶液能够有效改善玻璃基板 的亲水性，并且基板表面 的硅烷醇对钛酸锶薄膜的沉积具有积极指导作用 ：X射线衍射 (XRD)@~ i电镜(SEM)表征显示，制备成功的钛酸锶薄膜纯度高，结晶良好，样品表面均匀，在垂直基板表面方向上呈纤维花簇 状生长。文章同时对基板表面硅烷醇形成过程进行了研究。 关键词 ：Piranha；液相沉积 ；钛酸锶 中图分类号：0614．231；O614．411；TB43；TQ132．3+3 文献标识码：A 文章编号：1001—4861(2012)05—1065—05 PreparationofSrTiO3FunctionalCeramicThinFilm onGlassW afersTreatedby PiranhaSolution thLiquidPhaseDepositionM ethod LIUJian DONGXiu．Zhen HAOBin LIYue (DepartmentofEnvironmentalandChemicalEngineering,Tnagshna College，Tangshan,Hebei063000,China) Abstract：SrTiO3thinfilmwaspreparedonglasswaferstreatedbypiranhasolution (amixtureofsulfuricacid andhydrogenperoxide)withLiquidPhaseDepositionmethod．Contactanglemeasurementofglasswafersand photographsofpolarizingmicroscope indicate thathydrophiliccharacteristicofthe substrate isimproved by piranhasolution，andan inductionofdepositionSrTiO3thinfilm bySi—OH groups．XRD andSEM resultsshow thatthepureandhomogeneousSrTiO3thinfilm isawell—crystallineone．ThepreparedSrTiO3thinfilm isgrown verticallyontheglasssubstrate．Theformationmechanism ofSi—OH groupsisalsodiscussed． Keywords：piranha；liquidPhasedeposition；SrTiO3 Perovskite—typeSrTiO3 (STO)isan attractive (CMOS)device唧． materialfor itsexceHentcapability，such as high Atpresent，SrTiO3thinfilm havebeensynthesized dielectricconstant，low dielectricloss，chemicaland several processes such as electron--cyclotron-- thermalstability，and good insulating properties．So resonance(ECR)plasm