旋涂水溶液前驱体制备氧化锌薄膜及其性质.pdfVIP

物理化学学报(WuliHuaxueXuebao) July ActaPhys．一Chim．Sin．，2010，26(7)：2049—2052 2049 [Article】 www．whxb．pku．edu．cn 旋涂水溶液前驱体制备氧化锌薄膜及其性质 王 小燕 董桂芳 乔 娟 段 炼 王立铎 邱 勇 (清华大学化学系，有机光电子与分子工程教育部重点实验室，北京 100084) 摘要： 通过旋涂法，采用Zn(OAc)·2HO和聚环氧乙烷(PEO)的水溶液为前驱体在不同的热处理温度下制备了 ZnO薄膜．PEO的加入增加了溶液的成膜性，其较低的热分解温度有利于制得纯净的ZnO薄膜．文中考察了在 不同热处理温度下制备的ZnO薄膜的形貌、结晶性 、带隙(丘)以及电导性．原子力显微镜(AF1VI)~试表明在热处 理温度为400、450和 500℃制备的ZnO薄膜的粗糙度均方根值分别为3．3、2．7和3．6am．采用透射电子显微 镜(TEM)测试发现 ZnO薄膜中含有大量纳晶粒子．通过测试 ZnO薄膜的uV—Vis吸收光谱，根据薄膜位于373 am处的吸收带边计算得到ZnO的带隙为3．3eV．通过对薄膜的电流一电压(，- 曲线的测试计算得到在热处理温 度为400、450和500℃制备的ZnO薄膜的电阻率分别为3．3X109,2．7x10和6．6x10n·cm．450℃时制备的ZnO 薄膜的电阻率最小，主要是由于较高的热处理温度有利于提高薄膜的纯度、密度和吸附氧．而纯度较高、密度较 大的薄膜电阻率比较 ／b；吸附氧含量增加，晶界势垒增大，电阻率增大．因此在纯度和吸附氧的双重作用下450 ℃时制备的ZnO薄膜的电阻率最小，而500℃时制备的ZnO薄膜的电阻率最大． 关键词： 氧化锌；溶液处理；水溶液；带隙； 电导性 中图分类号： 0649 PreparationandPropertiesofZincOxideFilmsbySpin-CoatingW ater SolutionPrecursor WANGXiao—Yan DONGGui—Fang QIAOJuan DUANLian WAN GLi—Duo QIUYong (KeyLaboratoryofOrganicOptoelectronicsandMolecularEngineeringofMinistryofEducation，DepartmentofChemistry, TsinghuaUniversity,Beqing 100084，P R．China) Abstract： WesuccessfullypreparedZnO thinfilmsthroughspin—coatingamixtureofzincacetatedihydrate，poly (ethyleneoxide)(PEO)anddeionizedH2O．SmoothandpureZnOthinfilmswereobtainedbyusingPEO，becauseofits lowthermaldecompositiontemperature．Themorphology，crystallinity，bandgapenergy()，andconductivityofthe ZnOthinfilmsannealedatdifferenttemperaturesweredetermined．Atomicforcemicroscopy(AFM)showedthatthe rootmean