硅业副产物sicl资源化电沉积硅及其性能研究.docVIP

硅业副产物SiCl4资源化电沉积硅及其性能研究 刘静静1，赵占霞1，张承龙2，马忠权1 （1.上海大学 理学院物理系，上海 200444 2.上海电子废弃物资源化协同创新中心，上海第二工业大学 电子废弃物研究中心，上海 201209） 摘要：以硅业副产物四氯化硅（SiCl4）为溶解物，离子液体[BMIM]TF2N为溶剂，碳酸丙烯酯（PC）为支持电解质，采用三电极系统，用C-AFM方法研究[BMIM]TF2N与PC的质量比、电解液温度和沉积时间对阴极板生成物电学性质的影响，以及硅薄膜结构和表面形貌对其电学性质的影响。拉曼光谱结果证实沉积的硅薄膜是非晶态结构，在质量比为1︰3的常温电解液中沉积1 h制备出的硅薄膜具有很好的均匀性和电学性质。 关键词：离子液体；四氯化硅；C-AFM；硅薄膜；电学性质 中图分类号：X756；TN304.1+2 文献标志码：A 文章编号：1007-7545（2017）0-0000-00 Study on Resource Utilization of By-product SiCl4 from Polysilicon Industry and Properties of Electrodeposited Silicon Film LIU Jing-jing1, ZHAO Zhan-xia1, ZHANG Cheng-long2, MA Zhong-qua