氦质谱检漏仪检测原理及应用_何己有.pdfVIP

24 2 Vol． 24 No． 2 第 卷第 期 聚 酯 工 业 20 11-03 Polyester Industry Mar． 20 11 doi :10 ． 3969 /j ． issn． 1008-8261． 20 11． 02 ． 0 17 氦质谱检漏仪检测原理及应用 何己有 ( ， 529325) 广东开平春晖股份有限公司 广东 开平 : 、 ， PET 摘要 简要介绍了氦质谱检漏仪检测的工作原理 技术性能及探测方法 通过在 生产线反应釜真空检漏应用实例说明用 它检测的可靠性和优点。 :PET ; ; 关键词 氦质谱检漏仪 检漏 中图分类号:TQ323 ． 4 1 ;TB774 文献标识码:B 文章编号:1008-8261 (20 11)02-0054 -04 ， 子流并送入到电流放大器 通过测量离子流就可知 0 前言 漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作 ， 保护装置。 近年来 随着高真空检漏技术科学领域的不断 ， 发展和应用技术的日趋成熟 以及高真空检漏仪器 2 示漏气体的选择及特性分析 ， 。 技术的不断创新和进步 仪器更新换代很快 从技 、 、 、 、 氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应 术性能 高可靠性 准确性 耐用性 灵活性和性价比 ， 从以下几方面考虑: 等各方面都有着划时代的进步 从而使高真空检漏 、 (1) ， ;(2) 仪器从科学研究领域 实验室的高端应用逐渐普及 无害 不能对人体或环境造成伤害 质 。 ， ， ， ;(3) 到工业和民用领域的应用 氦质谱检漏技术是在真 量轻 惰性气体 穿透能力强 能穿透微小细缝 ， ， ;(4 ) 空检漏技术领域里应用最为广泛的一种 这种检漏 化学性质稳定 不会引起化学反应和易燃易爆 : ( 10 － 12 在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气 方法的优点是 检漏灵敏度高 可以检漏到 Pa ·m3 / s )、 、 、 ， ， 数量级 仪器响应快 操作简便 安全高 体 满足检漏灵敏度方面的要求 减少本底干扰检测 、 、 ， 。