波导耦合纳米光栅结构的光学滤波和角分辨调谐特性！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 + ( $##( ( ， ， ， RS; )+ QS )( 6GAFG8CGT $##( （ ） ###4,$(#K$##(K+ #( K’+%$4#* -L3- MNO6PL- 6PQPL- !$##( L=: ) M=UV ) 6SI ) 波导耦合纳米光栅结构的光学滤波和 角分辨调谐特性! ! 宋娇阳 冯胜飞 张新平 刘红梅 宋晏蓉 （北京工业大学应用数理学院，北京 ##$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $## ’ ( $## $ 利用干涉光刻技术制备了波导耦合纳米光栅结构，系统研究了其波导共振模式的角分辨调谐特性及其对光栅 参数、入射光偏振特性的依赖关系，并作了相应的理论模拟) 特别研究了光栅周期和厚度对波导共振模式角分辨调 谐速率的影响 实验结果对于器件进一步应用于滤波、生物传感技术具有重要的指导意义 ) ) 关键词：波导耦合光栅，干涉光刻，角分辨，调谐速率 ： ， ， !## ’ *%# *’+ 金属材料制备光栅结构而构成的等离子共振光子晶 J 引 言 体器件，要求波导模式与等离子共振模式的光谱学 响应重合，才能利用其耦合特性开发传感器件) 为了 波导耦合光栅由周期为纳米尺度的光栅结构、 获得最佳响应，需要优化光的入射角，调谐波导共振 ［］ 模式，以获得最强的耦合信号 而角度调谐范围和调 波导层以及衬底组成 ) 当光线入射到光栅结构上 ) 时，一部分光直接透射，另一部分光被光栅衍射而激 谐速率又是这一特性的主要特征参数，其定量表征 发波导层中的传播模式) 该波导模式传播过程中进 对于器件的设计和实际系统的标定至关重要) 例如， 一步被光栅衍射而产生平行于直接透射光束的衍射 对于角度传感器或其他机械传感器，要求尽可能高 的角度调谐速率，以提高其响应灵敏度；而对于生物 光) 多束衍射光与直接透射光干涉相消，在透射光中 传感器应用，则希望其角度调谐速率尽可能低，以避 形成一个窄带消光光谱，成为波导共振模式) 该模式 免环境变化或机械振动等外界干扰导致器件细微偏 光谱学响应特性不但与光栅参数、入射光的偏振特 转而引入错误信