原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
高精密机械定位平台
高精密機械定位平台 (3/3)
High Precision Positioning Stages
計畫編號 ：
NSC 87-2212-E-002-001
執行期間 ：
86/08/01 - 87/07/31
主持人 ： 范光照 台灣大學 機械工程學研究所
共同主持人 ：李世光台灣大學 應用力學研究所
王安邦 台灣大學 應用力學研究所
一 、中文摘要 are to design and make a dual-axis mov-
本計劃為國科會整合型研究計畫 ing stage.
「高精密機械定位平台」總計畫的第三 In this year, the detail design of the
年度成果報告,計劃中由三個子計劃分 stage had done. The fabrication and as-
工合作：(1) 長距離精準定位及控制,(2) sembly of the total structure frame, the
系統機構及六自由度位置誤差量測,(3) air-bearing and the components had ac-
具回授控制之空氣軸承系統,總體目標 complished. The six-degree-of-freedom
是以三年期間完成一雙軸高精密定位 measurement system had been mounted
on the dual-axis moving stage. The re-
平台系統之設計 、製作及測試。
sults have implemented the assembling
本年度之報告結合各子計畫之研究
work and performance evaluation of
成果。目前已順利完成第三年度的預期
modules. By integrating all sub-projects,
進度發展出雙軸定位平台的實體機台
, , the system mechanism for the high preci-
研究成果包括完成整機組件的設計圖 sion stage have been achieved.
與組合圖 、大平台整機架構 、空氣 Keywords: Precision Positioning Stage,
軸承的安裝機構及相關零組件的 Stepper, Piezoelectric Control, Servo
製作 及雙運動軸之六自由度誤差光學
, Control, Micro Stage, Laser Doppler
量測系統。並結合各子計畫完成此高精 Measurem
文档评论（0）