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超精密加工中表面波纹度与主轴系统不平衡关系
第49卷第1期 机械工程学报 V01．49NO．1
201
3年1月 Jan． 2013
JOURNAL0FMECHANICALENGINEERING
DoI：10．3901，JM[E．2013．01．191
超精密加工中表面波纹度与主轴系统不平衡关系木
陈东菊1 范晋伟1 李海涌1 张飞虎2
(1．北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京100124；
2．哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150001)
摘要：针对超精密加工工件表面出现的表面波纹度问题，研究超精密机床液压主轴系统不平衡问题与表面波纹度之间的关系。
加工工件的面形检测结果首先利用选出的最优小波变换进行各个尺度的分解及重构，接着利用功率谱密度分析小波分解后各个
尺度上的信号谱能量得到相关频率信息，结合主轴系统部件的模态及旋转频率信息，对检测结果中主要误差特征进行提取。主
轴系统频率信息由两种方法进行计算，从面形波纹度中提取出来的典型误差特征包含机床主轴固有频率和旋转频率及其高倍频，
电源基频50Hz及其整数倍频和次谐波信号，这些频率特征正好与主轴系统不平衡频率以及电动机工频噪声干扰频谱特征对应，
这说明主轴系统不平衡是导致加工工件波纹度出现的主要原因，这种辨识方法为超精密机床加工精度的提高提供了辨识依据。
关键词：超精密车削 波纹度 主轴不平衡小波变换 功率谱密度
中图分类号：THl61
betweenWavinessin and
Relationship Ultra·precisionMachining
Unbalance
Spindle
1
CHEN FANJinweiLI ZHANGFeihu2
Dongjul Haiyon91
ofMechanical and Electronics of
(1．College EngineeringApplied Technology，BeijingUniversity
100124；
Technology,Beijing
of of 15000
2．SchoolMechatronics Institute
Technology,Harbin1)
Engineering，Harbin
Abstract：Forthe ofthe betweenthe unbalanceandwaviness is
problemworkpiecewaviness，the spindle phenomenon
relationship
researched．Themeasuredresultofthe is andrestructuredthewavelet
transform，t
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