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超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究一一赵泽字 侯德胜 湛贵辉等 超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究 赵泽宇1 侯德、是生1 湛责辉2 ， 3 张万里Z 1.中国科学琉光电技术研究所微如加工克学技术国家重点实验室，成都，610209 2. 电子科拉大学，成都，610054 3. 西昌学院，西昌，615022 摘要2 分析了微机械变形镜MEMS 驱动器的种类及其特点，并在磁致伶编薄膜具有低磁场下的大形交、低 功耗、高响应速度等特性基础上，提出了起磁绞伶缩薄膜MEMS 驱动器的原理。由于 TbFe 磁致伸缩薄膜在外 加磁场作用下，微桥将在水平方角上产生伶长变彩，从而引起微桥在会主方向上发生位移。旅据这一原理，设计 了一种用于微机械变形镜 MEMS 驱动器的起磁致伸缩薄膜驱动结构，同时提出制作磁巢伸缩薄瑛连续式微机 械变形镜的工艺流程。 关键词:超磁致伸缩薄膜z 微机电系统z 微机械变形镜z 驱动器F 微桥 中图分类号:TN712.2 文章编号: 1004-132