电子显微镜的最新技术和发展趋势分析.PDFVIP

电子显微镜的最新技术和发展趋势分析 按照中心布置，在校图书馆电子文献库检索（电子显微镜的最新技术和发展） 检索到相关文献，其中全国分析测试学会微观结构专业评议组新一代电子显微镜 的发展趋势及应用特点和中科院电子显微镜实验室姚骏恩院士电子显微镜现状 与展望；国家生物医学分析中心张德添教授为“2009中国科学仪器发展年会” 介绍了电镜的最新技术；主要电镜公司的产品简介整理如下： 一、高性能场发射枪电子显微镜日趋普及和应用。 场发射枪透射电镜能够提供高亮度、高相干性的电子光源。因而能在原子纳 米尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期，全世界只有几 十台；现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。 常规的热钨灯丝（电子）枪扫描电子显微镜，分辨率最高只能达到 3.0nm；新一 代的场发射枪扫描电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm；超高分辨率的扫描电镜， 其分辨率高达0.5nm-0.4nm。其中环境描电子显微镜可以做到：真正的“环境” 条件，样品可在100%的湿度条件下观察；生物样品和非导电样品不要镀膜，可 以直接上机进行动态的观察和分析；可以“一机三用”。高真空、低真空和“环 境”三种工作模式。 二、努力发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高电子显微镜的分辨率 球差系数:常规的透射电镜的球差系数 Cs约为mm级；现在的透射电镜的球 差系数已降低到 Cs0.05mm.色差系数:常规的透射电镜的色差系数约为 0.7； 现在的透射电镜的色差系数已减小到0.1。 场发射透射电镜、STEM技术、能量过滤电镜已经成为材料科学研究,甚至生 物医学必不可少的分析手段和工具. 物镜球差校正器把场发射透射电镜分辨率提高到信息分辨率.即从0.19nm 提高到0.12nm甚至于小于0.08nm. 利用单色器，能量分辨率将小于0.1eV.但单色器的束流只有不加单色器时的 十分之一左右.因此利用单色器的同时,也要同时考虑单色器的束流的减少问题。 聚光镜球差校正器把STEM的分辨率提高到小于0.1nm的同时,聚光镜球差校 正器把束流提高了至少10倍,非常有利于提高空间分辨率。 在球差校正的同时，色差大约增大了30%左右. 因此,校正球差的同时,也要 同时考虑校正色差. 三、电子显微镜分析工作迈向计算机化和网络化。 在仪器设备方面，目前扫描电镜的操作系统已经使用了全新的操作界面。用 户只须按动鼠标，就可以实现电镜镜筒和电气部分的控制以及各类参数的自动记 忆和调节。不同地区之间,可以通过网络系统，演示如样品的移动，成像模式的 改变, 电镜参数的调整等。以实现对电镜的遥控作用. 四、电子显微镜在纳米材料研究中的重要应用。 由于电子显微镜的分析精度逼近原子尺度，所以利用场发射枪透射电镜，用 直径为0.13nm的电子束，不仅可以采集到单个原子的Z-衬度像，而且还可采集 到单个原子的电子能量损失谱。即电子显微镜可以在原子尺度上可同时获得材料 的原子和电子结构信息。观察样品中的单个原子像，始终是科学界长期追求的目 标。一个原子的直径约为1千万分之 2-3mm。所以，要分辩出每个原子的位置， 需要 0.1nm 左右的分辨率的电镜，并把它放大约1千万倍才行。人们预测，当 材料的尺度减少到纳米尺度时，其材料的光、电等物理性质和力学性质可能具有 独特性。因此，纳米颗粒、纳米管、纳米丝等纳米材料的制备，以 及其结构与 性能之间关系的研究成为人们十分关注的研究热点。 利用电子显微镜，一般要在200KV 以上超高真空场发射枪透射电镜上，可 以观察到纳米相和纳米线的高分辨电子显微镜像、纳米材料的电子衍射图和电子 能量损失谱。如，在电镜上观察到内径为0.4nm 的纳米碳管、Si-C-N 纳米棒、 以及Li 掺杂Si 的半导体纳米线等。 在生物医学领域，纳米胶体金技术、纳米硒保健胶囊、纳米级水平的细胞器 结构，以及纳米机器人可以小如细菌，在血管中监测血液浓度，清除血管中的血 栓等的研究工作，可以说都与电子显微镜这个工具分不开。总之： 扫描电镜、透射电镜在材料科学特别纳米科学技术上的地位日益重要。稳定 性、操作性的改善使得电镜不再是少数专家使用的高级仪器，而变成普及性的工 具；更高分辨率依旧是电镜发展的最主要方向；扫描电镜和透射电镜的应用已经 从表征和分析发展到原位实验和纳米可视加工；聚焦离子束(FIB)在纳米材料科 学研究中得到越来越多的应用；FIB/SEM双束电镜是目前集纳米表征、纳