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实验19椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
实验 19 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
当样品对光存在着强烈吸收(如金属)或者待测薄膜厚度远远小于光的波长时,通常用
来测量折射率的几何光学方法和测量薄膜厚度的干涉法均不再适用。这里介绍一种用反射型
椭偏仪测量折射率和薄膜厚度的方法。用反射型椭偏仪可以测量金属的复折射率,并且可以
测量很薄的薄膜(几十埃),当把它安装在超高真空系统上时,可对从准单原子层开始的薄
膜生长过程和其反过程——薄膜的溅射刻蚀过程进行即时监测。反射型椭偏仪又称为表面椭
偏仪,它在表面科学研究中是一个很重要的工具。
[预习提要]
(1)、椭偏仪的结构和使用方法是怎样的?
(2)、椭偏仪的基本原理是什么?
(3)、椭偏仪的用途和特点是什么?
[实验要求]
(1)、进一步掌握椭偏仪的基本原理。
(2)、熟悉椭偏仪的结构和操作方法。
(3)、掌握处理实验数据的查表方法。
[实验目的]
(1)测量玻璃基底上的薄膜的厚度和折射率。
(2)测量金属的复折射率。
[实验器材]
椭偏仪整机、激光电源、6-8 伏变压器、(Δ;ψ)~ (n;a)关系表。
[实验原理]
反射型椭偏仪的基本原理是,用一束椭圆偏振光做为探针照射到样品上,由于样品对入
射光中平行于入射面的电场分量(以下简称 P 分量)和垂直于入射面的电场分量(以下简称
S 分量)有不同的反射、透射系数,因此从样品上出射的光,其偏振状态相对于入射光要发
生变化。
一、 测量原理
如图 5-19-1 所示,入射光可分为 E 和 E 两个分量,经过折射和反射之后,总的
1S 1P
E = E + E + E + !!
‘ ‘ S 1S 2S 3S
反射光也可分为 E 和 E 两个分量。 (5 − 19− 1)
S P
E = E + E + E + !!
1 2 3
P P P P
1
E1P ’
’
E 1P E 2P E’3P ’
E 4P
θ
θ 1
介质 n1 E1S 1 ’ ’ ’ ’
E 1S E 2S E 3S E 4S
薄膜 n2 θ d
2
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