基于的智能集成汽车传感器的研究.pdfVIP

第25卷第4期 托京Z商大学学报《自然科学版) v01．25No．4 of andBusinesS 18 2007年7月 Joumal scienceEdition) Jul．2007 Be日ingTecbnology university(Natural 文章编号：16J71．1513(2007)《)4。OOl8一05 基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究 吕 良1一， 邓中亮1， 刘玉德2， 连美霞3 (1．北京邮电大学自动化学院，北京l00876；2．北京工商大学机械自动化学院，北京l00037； 3。机械工程信息研究院，北京 100037) 摘要：随薪汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究，基于MEMs技术的汽车传感器 具有广阔的应用前景．本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算 法、软件与硬件实现、以及集成原理与王艺等死个方灏，综合运瘸ME酝S技术、人羔智能、信息融 合、半导体加工等先进技术，研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题．最后对MEMS汽 车传感器今后的发展研究进行了探讨． 关键词：汽车传感器；MEMS技术；智能传感器系统 中图分类号：TP212．6 文献标识码：A 全球汽车工业呈现持续增长态势，2002～2007 年的年增长率(CAGR)达到1．6％．全球2005年的 汽车传感器市场霈求量达到12。83亿只，年平均增22。7钇美元．＆愿磁S传感器酶年增长率势12锈～ 长率为7．3％．网外汽车传感器已实现规模生产， 14％．全球汽车电子化及汽车计算机控制系统的兴 几种主要的汽车传感器均EljMotor01a、 起，推动了汽车MEMS传感器的发展．在汽车上所 B。SchSe∞Nor、}泌neywell、Ana{og鼠viee、Delp魏i、有系统中，几乎都煞我爨陋醚S酶蔫武之羹羹，车越 DelcoLucas、Phlips和Siemens等公司供应． electromechanical 近年来，随着MEMS(micro 70多只MEMS．德国海拉集团在欧洲售后市场提 syste瓣，微税电系统)技术的深入研究，剩震这一技 术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学 代[4_5I． 量、化学量和微生物的微型传感器，这些传感器的体 未来的汽车用传感器技术，总的发展趋势是微 积和熊耗小，可实现许多全新莳功麓，便于大撬爨程 型化、功麓亿、集成仡和智能仡嘲．利用徽电子机械 高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵 加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处 列，这些特点使褥它们非常适合予汽车方面的应 理装置封装在一块芯片上，它具有体积小、价格便 露f。3|．汽车应焉的MEMS传感器越来越受到广泛 宜、可靠性高、工作寿命可达到106h等特点，并且 关注． 可以明显提高系统测试准确度，融开始逐步取代传 1 M嚣Ms汽车传感器国内外研发现 状 系统的传感器芯片．两个公司共同开发有源磁场传 霹蓠醚EⅪS汽车传感器已成为溅舞汽车电子 感器的前瞻性技术，产瑟已应殿毽爨上最新酶轿车 收稿日期：2007一04—16 基衾壤基：j￡家枣教富委受会秘蔹发爨诗翅炎凌壤嚣(xM20瓢l§0lle03． 作者简介：吕 良(1976一)，男，山东莱芜入，助理研究员，博士研究生，主要从事微卡几电系统、汽车电子等领域的研究；