新一代nm级集成工艺仿真工具_SenTaurusProcess.pdfVIP

纳米器件与技术 Nanoelectronic Device Technology 新一代nm 级集成工艺仿真工具 —— —SenTaurusProcess 于英霞,李惠军,侯志刚,张宪敏 (山东大学孟尧微电子研发中心,济南 ) 250100 摘要:介绍了新思科技 ( )最新推出的新一代 级 制程工艺设计工具——— SynopsysInc. nm IC Sen- 的基本功能及其仿真领域,详细阐述了 功能的拓展。对 TaurusProcess SenTaurusProcessSenTau-