晶硅太阳能电池工艺简介1.pptxVIP

晶硅太阳能电池常规工艺简介;常规晶硅电池工艺流程;电池片生产流程——剖面图;清洗制绒（texture）目的;单晶制绒原理： ;单晶硅槽式制绒设备;单晶制绒工艺流程图;多晶硅片在HF-HNO3溶液中，由于反应的不均匀形成大小不等的腐蚀坑； 反应如下： Si+2HNO3+6HF = H2[SiF6]+2HNO2+2H2O 3Si+4HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+4NO+8H2O 3Si+2HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+2NO+4H2O+3H2 5Si+6HNO3+30HF=5H2[SiF6]+2NO2+4NO+10H2O+3H2 ;多晶硅绒面形貌图;多晶硅制绒工艺流程;在线式制绒设备——在线式制（RENA）;在线式制绒内部结构（Schmid）;制绒工序检验内容;;扩散制结基础（diffusion）;PN结（PN junction）;太阳能电池扩散方法;热扩散反应; 生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。;扩散设备及扩散间设备操作;扩散管路原理图;扩散基本步骤;扩散工序检测内容;方块电阻的意义及测量;刻蚀去边或腐蚀去背结;刻蚀原理;等离子刻蚀机;去磷硅玻璃