锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展.pdfVIP

锌还原四氯化硅制备多晶硅 技术的国内外进展 ■ 文／张愿成 张滢清 郭 飞 韩晓龙 黄碧龙 张玉霞 贺珍俊 上海太阳能工程技术研究中心有限公司 在光伏产业 中，多晶硅的生产工 这类方法存在着环境污染大、市场 化设备有限公司 等也分别对此技术 艺主要有西门子法 ／改 良西门子法、硅 容量小、被新技术逐步取代等问题 ； 展开了研 究。以下就对国内外锌还原 烷热分解法、流化床法以及区域熔炼 ③利用锌与SiCl4反应来制备 多晶 SiCl4制备太阳能级多晶硅主要技术 法 [】{其中，采用三氯氢硅(SiHCl3)作 硅，这种工艺可以很好地解决SiC14 进行描述和讨论。 为原料，改进西门子法供应的太阳能 回收问题，不仅有巨大的商业效益， 级多晶硅 占整个世界太阳能级多晶硅 同时也存在环境保护效，其副产物 一 、 国外锌还原SiCI4制备太阳 供应量的70％~80％[2】。在国外，每千克 锌c12还可 电解回收利用，环境污染 能级多晶硅的技术与进展 太阳能级多晶硅会产生 10～15kg的四 很小 。 锌还 原si