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活塞式和螺杆式无油真空泵 徐成海 关奎之 王志坚 (东北大学) (沈阳航空工业学院) 摘要:本文介绍活寨式和蛛杆式无油真空泵的特点、特性和在众多干泵中的地位，分别讨论活寨式和螺 仟式无油真空泵的结构和工作原理.分析其在国内生产的可行性，希望8G起到加速无油泵生产和推广应 用的作用。 I 引言 无油真空泵的优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喊油，没有 油蒸汽从泵口排出，不污染环境，属于环保类产品。因此，很有发展前途，号 称二十一世纪的 “绿色真空泵气 无油真空泵也称干式泵，其种类较多，主要有:旋片式、活塞式、螺杆式、 涡旋式、涡轮式、罗茨泵和爪型泵.几种典型泵的主要特性列于表1. 表1几种无油真空泵的特性 · 开竺式 典型产品型号 极限压力 主要特点 生产厂家 一 (Pa) 恶 活塞式 DVP-500 1.33 }7.5 清洁、可靠、好加工 Varian(美) lSD90VIII ?t杆式一 } 1.33 一} 19 抽气平稳、无喘振 台湾 旋片式一} TLV25 11.5X10`一}7.5 一 } 动平衡性好 一 }Rieucllie(i*) 涡旋式 DSR-500 1.0 10 噪音低、装配难 ULVAC(日) SINKUKIKO 涡轮式一}TVP-60 1.2X10.2}100 运转费用低、转数高一日本日立公司 LF-30F 3 30 性能稳定、加工难 领帆真空 (中) 爪型泵 DRYVACIOOB I :8 需动平衡 LEYBOLD (德) 本高，完全代替的可能性不大，目前无油泵主要应用在:理论分析仪器、电子 显微镜、镀制半导体薄膜、真空蒸发、真空脱气、真空蒸馏、真空浓缩、真空 干燥、真空包装、真空成型、真空热处理、光学机械、医疗机械、制药机械、 电子产品和核工业领域等。 上述几种真空泵中的爪型泵，国内己有产品上市。活塞泵结构简单，制造 方便，国内曾有几个厂家研制，多为单级或双级泵，极限压力在100-800Pa之 间，三级四腔式，极限压力能达到 1.33Pa的泵，东北大学已经设计，湖荐 阳市真空机电设备有限公司和沈阳市真空泵厂正准备生产。螺杆式真空泵F3 本生产较早以外，我国台湾的产品也正通过了鉴定，东北大学正在深入开去 争取早日上市。因此，本文仅就活塞式和螺杆式两种无油真空泵进行分析阐 2.活塞式无油真空泵 东北大学与鞍山无油空压机厂联合研制的HZW-4型无油真空输送泵于 1999年s月，通过了鞍山市科委主持的鉴定，其抽速为41/s，极限压力为600Pa, 主轴转速896r/min，功率为1.44KWa在此基础上，设计 排出压力为0.2Mpa, 型两种三级四腔无油真空泵，其抽速分别为4吮和8 了HWZ-4型和HWZ-8 图1给出了HWZ-4型活塞式无油真空泵的结构示 1s，极限压力为 1.33Pao 意图，图2 给出的是HWZ-4型活塞式无油泵气路图。 图1 HWZ-4型活塞式无油真空泵结构示意图 一— — 一-一-一一一一一-- — 一