考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型.pdfVIP

第 26 卷 　第 8 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 8 2005 年 8 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S Aug . ,2005 考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器 小信号宏模型 1 ,2 1 1 方玉明 　黄庆安 　李伟华 ( 1 东南大学 M EM S 教育部重点实验室 , 南京 　2 10096) (2 南京邮电学院信息工程系 , 南京 　2 10003) 摘要 : 以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,然后利用磁路 定律 ,考虑了在宏观磁执行器中忽略的磁芯磁阻 ,建立了考虑力磁耦合的非线