等离子体应用.pdfVIP

等离子体的一些应用领域 在西北工业大学等离子体推进实验室学术报告(2004.12.24)的提纲 邱 孝 明 （核工业西南物理研究院成都 432 信箱 610041 ） 1. magnetic confinement fusion (MCF), tokamak, International Thermonuclear Experiment Reactor (ITER). 2. inertial confinement fusion (ICF), laser fusion, 更重要的应用还不是能源。 3. Z pinch (介于 MCF 和 ICF 之间), 更重要的应用还不是能源。 4. plasma thruster (PT), microwave plasma thruster (MPT) and stationary plasma thruster (SPT). 5. plasma etching (PE), 目前只有PE 技术的发展速度跟得上大规模集成电路生产对集 成度越来越高的要求因为它在提高分辨率方面的办法比光刻化学刻蚀技术多