洁净室环境智慧型污染监测与控制系统开发计画.docVIP

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2017-06-03 发布于天津
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一、目的：。產業型態： □IC廠 □ 6’ □ DRAM □ 8’ □ Logic □ 12’ □ A □ TFT廠 □ G3.5~G4.5 □ G5、6 □ G7以上 FAB型式： □ 3層 □ 4層 3. Dry Pump擺放位置：□ Clean Sub FAB □ Dirty Sub FAB (可複選) 4. Local Scrubber擺放位置： □ Clean Sub FAB □ Dirty Sub FAB (可複選) 5. 可用長度：最長距離　　　　　　 m 6. 依您個人主觀認定，您認為本系