MSV1000变电容式加速度传感器.PDF

MEMS DC响应加速度传感器 MSV1000变电容式加速度传感器 特点 ● ±2g～±20000g量程 ● 宽带宽（DC～5000Hz@50%） ● 低噪声 ● 抗20000g冲击 ● 工作温度-55～+125℃ 性能参数 单位 MSV1000-02 -10 -30 -50 -100 -150 -500 -1000 -10000 -20000 量 程 g ±2 ±10 ±30 ±50 ±100 ±150 ±500 ±1000 ±10000 ±20000 灵敏度（@100Hz） mV/g 1000±20 200±10 66±4 40±2 20±1 13.3±0.6 4±0.3 2±0.3 0.2±0.03 0.1±0.01