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第 8 卷 第 4 期 分析测试技术与仪器 Volume 8 Number 4 2002 年 12 月 ANAL YSIS AND TESTIN G TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS Dec . 2002 ( ) 分析测试新方法 218～225 划痕试验法对特殊薄膜系结合力的 检测与评价 华敏奇1 , 袁振海2 ( 1. 中国科学院兰州化学物理研究所 , 甘肃 兰州 　730000 ; 2 . 广州有色金属研究院 , 广东 广州 　510651) 摘 　要 :简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法 ,讨论了影响临界载荷 Lc 测量 值准确性的主要因素. 通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析 ,认为被测薄膜以及基体的物理 化学特性对临界载荷的测量具有重要的影响 ,单纯从声发射信号的变化来确定临