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2011 年第30 卷第7 期 传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies) 1
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MEMS 继电器典型结构及其研究进展
黄 虎，尤 政，阮 勇，张 弛
(清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京100084)
摘 要: 综述了目前国内外主要MEMS 继电器的原理和典型结构，包括静电型、电磁型、电热型、液态型及
混合型微继电器，并对各种类型微继电器的特点进行了比较。
关键词: 微机电系统; 继电器; 典型结构
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中图分类号:TM 581 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2011)07 0001 04
Typical structures and developing trends of MEMS relays
HUANG Hu ，YOU Zheng ，RUAN Yong ，ZHANG Chi
(State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments ，Department of
Precision Instruments and Mechanology ，Tsinghua University ，Beijing 100084 ，China)
Abstract :The principles and typical structures of MEMS relays based on MEMS technology at home and abroad
are summarized． The characteristics of various MEMS relay such as electrostatic ，electromagnetic ，electrothermal ，
liquid-filled and hybrid MEMS relays are compared．
Key words :micro-electro-mechanical system (MEMS);relay ;typical structure
0 引 言 1． 1 悬臂梁式结构
继电器是广泛用于信息处理、通信、控制、机电一体化 图1 是美国Majumder S 等人制作的单端悬臂梁式继
等领域的重要元器件之一。随着航天和微小卫星技术的大 电器的结构示意图。该继电器有2 个接触电极，分别连接
力发展，对于继电器小体积、低功耗的要求越来越迫切，传 输入和输出信号，使得开关部分的信号不通过驱动部分，减
统继电器已无法满足这些要求。近年来，微机电系统(mi- 少干扰。上极板下拉后其前端与2 个接触电极同时接触，
cro-electro-mechanical system ，MEMS)技术的大力发展与应 两接触电极导通，继电器处于闭合状态。该继电器的驱动
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用为新型继电器提供了一种新的思路。基于 MEMS 技术 电压为80 V ，接触电阻小于1 Ω ，寿命可达10 次 。
的继电器与传统继电器相比具有体积小、功耗低、接触阻抗
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