毕业论文——Al掺杂ZnO薄膜晶体管的制备与表征综述.docxVIP

湘潭大学毕业论文题目:Al掺杂ZnO薄膜晶体管的制备与表征学院 : 专业 : 测控技术与仪器学号 : 姓名 : 指导教师 : 完成日期 : 2013年5月20日湘潭大学毕业论文(设计)任务书论文题目：Al掺杂ZnO薄膜晶体管的制备与表征学号：姓名：专业：测控技术与仪器指导教师：系主任：一、主要内容及基本要求主要内容：了解薄膜晶体管TFT的概念、应用及发展趋势。掌握脉冲激光沉积法制备Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的流程和关键技术。调研了Al掺杂氧化锌材料微观结构和电学性能的测试分析方法，并对所制备的Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的相关性能进行表征与分析。通过查阅文献资料和运用所学理论知识，对实验结果进行初步的分析。培养查阅文献和综合分析与解决问题的能力。基本要求：1.文献调研掌握薄膜晶体管TFT材料的概念、应用及发展趋势；2. 掌握Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的制备和表征方法；3. 掌握相关实验结果的处理和分析方法。二、重点研究的问题1. 研究掺杂对薄膜材料微观结构的影响；2. 研究掺杂对薄膜材料电学性能的影响。三、进度安排序号各阶段完成的内容完成时间1查阅相关文献资料，掌握基本知识12年12月15日- 13年01月25日2熟悉脉冲激光沉积法实验的操作13年01月26日- 13年03月25日3Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的制备13年03月26日- 13年04月10日4ZAO薄膜微观结