半导体业废气洗涤塔操作实务与探讨.PDFVIP

半導體業廢氣洗滌塔操作實務與探討 林政鑒*、蔡俊宏**、陳立德* 摘 要 半導體業排放廢氣一般可分為酸/毒、鹼性、有機及一般排氣。排氣中佔最大比例的 酸/毒、鹼性廢氣，都是以洗滌塔作為處理設備。洗滌塔如何能穩定地發揮應有的去除效 率，攸關工廠週界環境與人員的安全，也是本文探討的重點。 半導體因排放氣體種類複雜，加上製程同時需要使用不同特性的化學品，造成洗滌塔 在運轉上會出現許多狀況使處理效率降低。本論文針對半導體廢氣洗滌塔常見的pH 問 題、長菌、白煙與排氣流量監測不準等問題提出分析與解決方案，可提供業界作為運轉此 類廢氣洗滌塔重要的參考依據。 【關鍵詞】1.洗滌塔 2.廢氣處理 *聯華電子股份有限公司 正工程師 **聯華電子股份有限公司 經理 1 Operational Practices of Scrubber Systems in Semiconductor Chinggaam Lin *、Chun Hu ng Tsai**、Li Der Ch en * Abstract Scrubbers are widely used for air pollution treatment in semiconductor. Efficiency of waste gas treatment must be carefully maintained for environmental and healthy issue. In practical operation, some problems were frequently occurred that reduce the treatment efficiency of scrubber. These problems such as pH unstable, bacteria growth, and smoke appear in exhaust stack, are investigated in this paper and we provide practical solutions for them. All the analysis and results can contribute as useful reference for other semiconductor companies. 【Keyw ords】1.Scrubber 2.Air P ollution Tr eatment *United Microelectronics Corporation. Principal Engineer **Unite d Mi cr oele ctroni cs Cor p oration. M ana ger 2 一、前 言 半導體產品相關製程繁雜多樣，且製程中所使用之化學物質種類亦相當繁多，產生的 廢氣依其特性大體分為酸/毒性、鹼性、有機性及一般廢氣。機台端的製程排氣一般會先 經過附屬的local scrubber 處理後，再排放到廠務端的中央廢氣處理系統。在廠務端，排氣 中佔最大比例的酸/毒、鹼性廢氣，大部分是採用濕式洗滌塔作為處理設備，經過洗滌塔 處理後的氣體，經過煙囪後直接排放到環境的大氣中。廢氣處理系統運轉效率的好壞，攸 關於環境空氣品質及人體的安全與健康。 半導業較常見的濕式洗滌塔型式一般採用填充式洗滌塔，洗滌塔之構造簡單大體分 為：洗滌塔本體、填充物、噴霧器、除霧器、循環水系統及加藥系統，雖各家設計略有不 同但操作原理大同小異。適當之設計及安裝可幫助工廠符合污染管制法規之