测控仪器设计(第4章)研究报告.ppt

（二）空气静压导轨 气体静压导轨因其工作平稳、可靠、运动精 度高、无磨损、无爬行，而在精加工设备和精密 仪器中得到广泛应用。但它承载力较低，导轨刚 度较差，又需要一套清洁稳定的压缩空气源是其 不足之处。 优缺点 如图4-38所示，经过过滤和稳压后的压缩空气具 有Ps压力，它进入直径为d的节流孔再进入气室 （直径为2a），压力降至pr，然后进入气垫平面 与固定导轨面间的间隙h中，沿径向流入大气，压 力变为大气压p0，pr的大小与节流孔d及h有关， 间隙h越小，则压力越大。气垫面上圆环形截面影 响承载力大小，而和介质粘度无关。当负载增加 为W+△W时，间隙由h减小到 ，使气室压力pr增 加至pr′，在节流孔中产生压力差 ，同 时气垫上平均压力也增大，产生与△W相反的作 用力，而保持动导轨的平衡。 简单的气垫工作原理 空气静压导轨在导轨上有气垫，当压缩空气引入后，由于压缩空气的静压力而使动导轨及工作台浮起，图4-37是三坐标测量机X向导轨的气垫布置图。气垫1、2、6起支承作用，并保证垂向直线度；气垫3、5是导向气垫，保证X向运动直线度；而气垫4起平衡和预载荷作用。 工作原理与特点 空气静压导轨 开式真空吸附平衡型 见图4-39d，其结构与重量平衡型 相同。由真空泵的真空压力来限制工作台的浮起量，因 此，可以减少工作台浮起间隙