* 压阻式压力传感器的特点: (1)灵敏度高,频率响应高; (2)测量范围宽,可测低至10Pa的微压到高至60MPa的 高压; (3)精度高,工作可靠,其精度可达±0.2%~0.02%; (4)易于微小型化,目前国内生产出直径φ1.8~2mm的压阻式压力传感器。 * 4.压电式压力传感器 压电效应:某些电介质,沿某一个方向受力而发生机械变形时,其内部将发生极化现象,在其表面会产生电荷。当外力撤去后,又会重新回到不带电的状态。 常用的压电材料有压电晶体(如石英晶体)和压电陶瓷(如钛酸钡)两大类。 压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号。 * 由压电材料制成的压电元件受到压力作用时,产生的电荷量与作用力之间呈线性关系。即 式中,Q为电荷量,k为压电常数,p为压力。 * 压电元件夹于两个弹性膜片之间,压电元件的一个侧面与膜片接触并接地,另一侧面通过引线将电荷量引出。 被测压力均匀作用在膜片上,使压电元件受力而产生电荷。 电荷量一般用电荷放大器或电压放大器放大。 图3-11压电式压力传感器 * 压电式压力传感器特点: (1)体积小,结构简单,工作可靠; (2)测量范围宽,可测100MPa以下的压力; (3)测量精度较高; (4)频率响应高,可达30KHz,是动态压力检测中常用的传感器,但由于压电元件存在电荷泄漏,故不适宜测量缓慢变化的压力
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