32nm及其以下技术节点CMOS技术中的新工艺及新结构器件.PDF

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2017-06-06 发布于天津
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32nm及其以下技术节点CMOS技术中的新工艺及新结构器件

~ SCIENCE IN CHINA PRESS 32 nm CMOS * , , , , , 100871 * E-mail: yyw@ : 2008-03-12; : 2008-04-09 32 nm , /k , , FinFET MOSFET 32 nm . /k /k 32 nm . SOI 50 . 50 . , Intel 45 nm CPU . 2006 45 nm CPU , k , 193 nm , 65 nm , Intel 45 nm 2 , 30%, 20%, 5 , 10 . ITRS roadmap [1], MOS 2020 14 nm , 6 nm, 9 nm. [2], 2003 , NEC MOS , (steep HALO), 5 nm4 nm . (DIBL), . . 1900 , Planck , 1905 1915 , Einstein , , , Heisenberg Schrödinger . 20 30 921 : 32 nm CMOS , . 21 , 21 30 . 20 30 , , 1947 1958 ; 21 30 ,